摘要
x(>XM:| @8\0@[] 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知
倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的
衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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-AL^ \|vo@E 结果-容差分析
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d#(eGe 在
VirtualLab Fusion中查看
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bWp)'mx5u ',+Zqog92 VirtualLab Fusion的工作流程
\u6.*w5TI xA;)02 •构造光栅结构
y'6l fThT - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
WOgkv(5KN - 倾斜光栅的高级配置[用例]
5l,Lp'k •分析光栅衍射效率
V~8]ag4 - 光栅级次分析器[用例]
?]*"S{Cq v •使用参数优化优化光栅参数
o]]tH •使用参数运行进行
容差分析 _`*G71PS - 参数运行文档的用法[用例]
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z9 VirtualLab Fusion技术
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