摘要
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数值孔径物镜广泛用于
光学光刻、
显微镜等。因此，在
聚焦模拟中考虑光的矢量性质是非常重要的。 VirtualLab非常容易支持这种
镜头的
光线和光场追迹分析。 通过光场追迹，可以清楚地展示不对称焦斑，这源于矢量效应。 照
相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性，并且可以深入了解矢量效应。
6MrKi|'X@ X9'xn 0n; 
j%M @# B5Va%?Wg?H 建模任务
R}J-nJlb @;9()ad 
ZBj6KqfST% !C7<sZ`C 入射平面波
uFe'$vI 波长 2.08 nm
PN\V[#nS 光斑直径： 3mm
e?)yb^7K 沿x方向线偏振
0]a1 5 ?"@ET9 如何进行整个
系统的光线追迹分析？
E:Y:X~vy 如何计算包含矢量效应的焦点的强度分布？
gStY8Z!k w2 )/mSnu 概览
< EXWWrm •样品系统预设为包含高数值孔径物镜。
C
MqM;1 •接下来，我们将演示如何按照VirtualLab中推荐的工作流程对样本系统进行模拟。
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0=m&^Jpp 光线追迹模拟
-I vL+}K •首先选择“光线追迹系统分析器”（Ray Tracing System Analyzer）作为模拟引擎。
J%4HNW*p •点击Go！
yGV{^?yoP •获得3D光线追迹结果。
,#%SK;1< tG 7+7Z = 
bD@@tGr;W =[(%n94 光线追迹模拟
3ExVZu$ •然后，选择“光线追迹”（Ray Tracing）作为模拟引擎。
}9Q f #&o •单击Go！
Fhi5LhWe+. •结果，获得点图（2D光线追迹结果）。
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/a%KS3>V* 光场追迹模拟
I:/4t^% •切换到“第二代场追迹”（Field Tracing 2nd Generation）作为模拟引擎。
*08+\ed"# •单击Go！
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|&:n 光场追迹结果（照相机探测器）
(6[Wr}SW5 (lWKy9eTy` •上图仅显示Ex和Ey场分量的强度。
jhcuK:`L •下图通过整合Ex、Ey和Ez分量显示强度：由于高数值孔径情况下相对较大的Ez分量，可以看到明显的不对称性。
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P59 uALi M[vCpa 光场追迹结果（电磁场探测器）
573~-Jvx 8"pA9Mr •通过使用电磁场探测器获得所有电磁场分量。
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