摘要
b`M 2VZu #_)<~ 高
数值孔径物镜广泛用于
光学光刻、
显微镜等。因此,在
聚焦模拟中考虑光的矢量性质是非常重要的。 VirtualLab非常容易支持这种
镜头的
光线和光场追迹分析。 通过光场追迹,可以清楚地展示不对称焦斑,这源于矢量效应。 照
相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性,并且可以深入了解矢量效应。
Jb+cC)( _)AX/%^% G}ZJ}5h T 2Uu/^ 建模任务
znm3b8ns p2Yc:9r9+A =y)e&bj Hg<d%7. 入射平面波
)xKZ)SxV 波长 2.08 nm
LDilrG) 光斑直径: 3mm
>6xZF'4 沿x方向线偏振
;la sk4| A#/O~-O^ 如何进行整个
系统的光线追迹分析?
vhe[:`=a 如何计算包含矢量效应的焦点的强度分布?
n1D,0+N= !>gi9z, 概览
<7-Qn(m, •样品系统预设为包含高数值孔径物镜。
oT9dMhx8 •接下来,我们将演示如何按照VirtualLab中推荐的工作流程对样本系统进行模拟。
l0hcNEj{W XNODDH Z{<& 2* 光线追迹模拟
BllS3I}V •首先选择“光线追迹系统分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作为模拟引擎。
/{h@A~<96 •点击Go!
)bCw~'h* •获得3D光线追迹结果。
@K{1O|V {p -q&k&R| QnHb*4< xLID@9Hbu 光线追迹模拟
,+LX.f&/8! •然后,选择“光线追迹”(Ray Tracing)作为模拟引擎。
r57CyO •单击Go!
AunX[X9 •结果,获得点图(2D光线追迹结果)。
M.b1=Y zvJQ@i"Z }.+{M.[} LU'<EXUbY 光场追迹模拟
9
GEMmo3 •切换到“第二代场追迹”(Field Tracing 2nd Generation)作为模拟引擎。
r1vF/yt( •单击Go!
-|Z[GN: )w3?o#@ &~9'7 n! zn!H&!8& 光场追迹结果(照相机探测器)
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I6<k/ 'E_M,Y •上图仅显示Ex和Ey场分量的强度。
dXwfOC\\ •下图通过整合Ex、Ey和Ez分量显示强度:由于高数值孔径情况下相对较大的Ez分量,可以看到明显的不对称性。
VTM*=5|c zVeQKN9^Z &`]Lg?J DcjF$E 光场追迹结果(电磁场探测器)
32#|BBY (T&rvE •通过使用电磁场探测器获得所有电磁场分量。
:.2Tcq tsGt,]O30 1W@ C]n4 :9nqQJ+~ W>^WNo3YQ$ kfb*| vIMLUL0 h\]D:S