摘要
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数值孔径物镜广泛用于
光学光刻、
显微镜等。因此，在
聚焦模拟中考虑光的矢量性质是非常重要的。 VirtualLab非常容易支持这种
镜头的
光线和光场追迹分析。 通过光场追迹，可以清楚地展示不对称焦斑，这源于矢量效应。 照
相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性，并且可以深入了解矢量效应。
pG^}Xf2a cE Ci') 
)2DQ>cm \@}#Gez 建模任务
Xnuzr" 4u GHF_R,7 
X%bFN hI pKJ&hm 入射平面波
NNG}M(/V 波长 2.08 nm
?EU\}N J 光斑直径： 3mm
51# "3S 沿x方向线偏振
M=xQ=j? xsjO)))f 如何进行整个
系统的光线追迹分析？
XJ!(F#zc 如何计算包含矢量效应的焦点的强度分布？
q{die[ J IMnP[WA ! 概览
* n(> ^ •样品系统预设为包含高数值孔径物镜。
.$",
*d •接下来，我们将演示如何按照VirtualLab中推荐的工作流程对样本系统进行模拟。
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XT,#g-oi 光线追迹模拟
fq s]<qi •首先选择“光线追迹系统分析器”（Ray Tracing System Analyzer）作为模拟引擎。
E3a_8@ZB7 •点击Go！
?zq+ jLyo •获得3D光线追迹结果。
`>D9P_Y"jI &V7 >1kD3 
Fv?=Z-wk u) Q;8$` 光线追迹模拟
iRG?# " •然后，选择“光线追迹”（Ray Tracing）作为模拟引擎。
Rq~t4sA: •单击Go！
R7~ Yw*#, •结果，获得点图（2D光线追迹结果）。
rOD1_X- Lc<eRVNd, 
IfDx@ ?OB -{|`H[nmD 光场追迹模拟
[ neXFp}S •切换到“第二代场追迹”（Field Tracing 2nd Generation）作为模拟引擎。
<-UOISyf •单击Go！
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: 9l51oE7 ID1?PM 光场追迹结果（照相机探测器）
WW@"Z}?k Oajv^H,Em •上图仅显示Ex和Ey场分量的强度。
0;~yZ?6_F •下图通过整合Ex、Ey和Ez分量显示强度：由于高数值孔径情况下相对较大的Ez分量，可以看到明显的不对称性。
+TN 9ujL6@ ^T4 Ay=~{ 
oJ*1>7[ J (#(O r 光场追迹结果（电磁场探测器）
TrE3S'EU#R _-c K{ •通过使用电磁场探测器获得所有电磁场分量。
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