摘要
pwUXM?$R {.Tx70kn 高
数值孔径物镜广泛用于
光学光刻、
显微镜等。因此，在
聚焦模拟中考虑光的矢量性质是非常重要的。 VirtualLab非常容易支持这种
镜头的
光线和光场追迹分析。 通过光场追迹，可以清楚地展示不对称焦斑，这源于矢量效应。 照
相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性，并且可以深入了解矢量效应。
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建模任务
Et>#&Nw8 sXKkZ+2q 
L i JYyp a6p 0_-MF 入射平面波
Sn Cwo xK 波长 2.08 nm
nhI+xqfn 光斑直径： 3mm
_ _O f0< 沿x方向线偏振
?u|??z% z^Q'GBoBA 如何进行整个
系统的光线追迹分析？
XxqGsGx4 如何计算包含矢量效应的焦点的强度分布？
[m~J6WB "W<Y1$Y=Y 概览
Gvb2 >ZN •样品系统预设为包含高数值孔径物镜。
"gJ?LojB < •接下来，我们将演示如何按照VirtualLab中推荐的工作流程对样本系统进行模拟。
6Z\ aJ :uL<UD,vu3 
,GbmL8P7Y 光线追迹模拟
OV>& `puL •首先选择“光线追迹系统分析器”（Ray Tracing System Analyzer）作为模拟引擎。
"hk cN+= •点击Go！
`FHudSK •获得3D光线追迹结果。
%Ymi,o> ~o }:!y 
- Cf)`/ V^~RDOSy7n 光线追迹模拟
q? ,PFvs" •然后，选择“光线追迹”（Ray Tracing）作为模拟引擎。
;\MWxh,K •单击Go！
Pz4#>tP •结果，获得点图（2D光线追迹结果）。
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Met?G0[ Mw[3711v 光场追迹模拟
hCxg6e<[ •切换到“第二代场追迹”（Field Tracing 2nd Generation）作为模拟引擎。
]HKt7 %, •单击Go！
?d')#WnC (qn= BP I 
.jrNi=BP* )&Ii! tm3 光场追迹结果（照相机探测器）
72HA.!ry R >x d*A •上图仅显示Ex和Ey场分量的强度。
)e(<YST •下图通过整合Ex、Ey和Ez分量显示强度：由于高数值孔径情况下相对较大的Ez分量，可以看到明显的不对称性。
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5K vp% tBo\R?YRs 光场追迹结果（电磁场探测器）
y6(PG:L h5 ?^MRZS •通过使用电磁场探测器获得所有电磁场分量。
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