摘要
4;eD}g +;M 5Sp 高
数值孔径物镜广泛用于
光学光刻、
显微镜等。因此，在
聚焦模拟中考虑光的矢量性质是非常重要的。 VirtualLab非常容易支持这种
镜头的
光线和光场追迹分析。 通过光场追迹，可以清楚地展示不对称焦斑，这源于矢量效应。 照
相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性，并且可以深入了解矢量效应。
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q?@* >y(lo Ml 建模任务
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Wh~,?}laj iyXd"O 入射平面波
@u: ` 波长 2.08 nm
w.#z>4#3- 光斑直径： 3mm
'2|P- /jU 沿x方向线偏振
S.q0L 69apTx 如何进行整个
系统的光线追迹分析？
r adP%W-U 如何计算包含矢量效应的焦点的强度分布？
~t ZB1+%) "fUNrhCx 概览
6a_U[-a9; •样品系统预设为包含高数值孔径物镜。
MUGoW;}v ) •接下来，我们将演示如何按照VirtualLab中推荐的工作流程对样本系统进行模拟。
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[-\U)>MY(p 光线追迹模拟
9)o@d`*
•首先选择“光线追迹系统分析器”（Ray Tracing System Analyzer）作为模拟引擎。
yPs6_Qo!p •点击Go！
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'#gH •获得3D光线追迹结果。
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-Dy <B _`p ^B%[ 光线追迹模拟
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. P#S •然后，选择“光线追迹”（Ray Tracing）作为模拟引擎。
} # L_R •单击Go！
3la `S $c •结果，获得点图（2D光线追迹结果）。
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j+{cc: h"X -Fu,oEj{* 光场追迹模拟
x$D^Bh, •切换到“第二代场追迹”（Field Tracing 2nd Generation）作为模拟引擎。
%e3E}m> •单击Go！
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9!Jt}n?!g Oh>hy Y)} 光场追迹结果（照相机探测器）
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•上图仅显示Ex和Ey场分量的强度。
uOy/c 8` •下图通过整合Ex、Ey和Ez分量显示强度：由于高数值孔径情况下相对较大的Ez分量，可以看到明显的不对称性。
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^@i(XQ 光场追迹结果（电磁场探测器）
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dB •通过使用电磁场探测器获得所有电磁场分量。
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