摘要
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数值孔径物镜广泛用于
光学光刻、
显微镜等。因此，在
聚焦模拟中考虑光的矢量性质是非常重要的。 VirtualLab非常容易支持这种
镜头的
光线和光场追迹分析。 通过光场追迹，可以清楚地展示不对称焦斑，这源于矢量效应。 照
相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性，并且可以深入了解矢量效应。
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KdNo'*;U]_ w GH ft`Z 建模任务
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*oO%+6nL :kZ]Swi 5 入射平面波
'r'=%u$1C 波长 2.08 nm
g$(Y\`zw 光斑直径： 3mm
b"g^Jm! j 沿x方向线偏振
0%xk tf V[ UOl J 如何进行整个
系统的光线追迹分析？
3 s\UU2yr 如何计算包含矢量效应的焦点的强度分布？
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概览
,>| t Q' •样品系统预设为包含高数值孔径物镜。
1q}32^>+o •接下来，我们将演示如何按照VirtualLab中推荐的工作流程对样本系统进行模拟。
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AArLNXzVW 光线追迹模拟
nC:T 0OJv •首先选择“光线追迹系统分析器”（Ray Tracing System Analyzer）作为模拟引擎。
1$Up7=Dr= •点击Go！
a-5UG#o •获得3D光线追迹结果。
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[[T7s(3 oKGH|iVEe 光线追迹模拟
(o>N *?, } •然后，选择“光线追迹”（Ray Tracing）作为模拟引擎。
5{H)r •单击Go！
V .K jcy •结果，获得点图（2D光线追迹结果）。
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R6~6b&-8 tmGh JZ2j 光场追迹模拟
/.:1Da •切换到“第二代场追迹”（Field Tracing 2nd Generation）作为模拟引擎。
LM<*VhX •单击Go！
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H c/7x). 2e6P?pX~2 光场追迹结果（照相机探测器）
6>?qBWW NbWEP\dS'z •上图仅显示Ex和Ey场分量的强度。
$`xpn#l z •下图通过整合Ex、Ey和Ez分量显示强度：由于高数值孔径情况下相对较大的Ez分量，可以看到明显的不对称性。
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6@aH2+4+ n%r>W^2j 光场追迹结果（电磁场探测器）
'[r: pwE s.(.OXD& •通过使用电磁场探测器获得所有电磁场分量。
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