摘要
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数值孔径物镜广泛用于
光学光刻、
显微镜等。因此，在
聚焦模拟中考虑光的矢量性质是非常重要的。 VirtualLab非常容易支持这种
镜头的
光线和光场追迹分析。 通过光场追迹，可以清楚地展示不对称焦斑，这源于矢量效应。 照
相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性，并且可以深入了解矢量效应。
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| :7O )*}2L _5] 建模任务
LZG?M|(6D H$bu* o-Z 
=]X_wA;% omisfu_~E 入射平面波
0<d9al|J 波长 2.08 nm
6q-X$ 光斑直径： 3mm
KzZ|{ !C 沿x方向线偏振
?Imq4I~) TmZ sC5 如何进行整个
系统的光线追迹分析？
`@!4#3H 如何计算包含矢量效应的焦点的强度分布？
`!V=~"ve 6jyS]($q 概览
JVy- Y •样品系统预设为包含高数值孔径物镜。
tbG^9d •接下来，我们将演示如何按照VirtualLab中推荐的工作流程对样本系统进行模拟。
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=BW;n]ls 光线追迹模拟
F6^Xi"R[ •首先选择“光线追迹系统分析器”（Ray Tracing System Analyzer）作为模拟引擎。
n] {sBI3 •点击Go！
| >X5@ •获得3D光线追迹结果。
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N":9+F 
qtlXDgppO v o<'7, 光线追迹模拟
h \dq]yOl •然后，选择“光线追迹”（Ray Tracing）作为模拟引擎。
Y<0}z>^ •单击Go！
jiw5>RNt •结果，获得点图（2D光线追迹结果）。
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4OX|pa 4 k%y *L 光场追迹模拟
K{DsGf , •切换到“第二代场追迹”（Field Tracing 2nd Generation）作为模拟引擎。
2E7vuFH4c •单击Go！
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Q AN : +h*-9 光场追迹结果（照相机探测器）
F%|F-6 SlK 6Kn X •上图仅显示Ex和Ey场分量的强度。
vNo( `~]c •下图通过整合Ex、Ey和Ez分量显示强度：由于高数值孔径情况下相对较大的Ez分量，可以看到明显的不对称性。
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jgpSFb<9F <cig^B{nX 光场追迹结果（电磁场探测器）
L F<{/c9, X "hdCY% •通过使用电磁场探测器获得所有电磁场分量。
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