摘要
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数值孔径物镜广泛用于
光学光刻、
显微镜等。因此，在
聚焦模拟中考虑光的矢量性质是非常重要的。 VirtualLab非常容易支持这种
镜头的
光线和光场追迹分析。 通过光场追迹，可以清楚地展示不对称焦斑，这源于矢量效应。 照
相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性，并且可以深入了解矢量效应。
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>3&Oe s !XJ 建模任务
F\IJ im-Rh (`me}8 
[ 30ta<- U1 ;<NUg 入射平面波
b"7L
;J5| 波长 2.08 nm
rf= ndjrH 光斑直径： 3mm
OuuN~yC 沿x方向线偏振
8k|&&3_[?
q-|j
= 如何进行整个
系统的光线追迹分析？
_(1Shm 如何计算包含矢量效应的焦点的强度分布？
H2
Gj(Nc- tS:/:0HnA) 概览
PqVz ^(Wz •样品系统预设为包含高数值孔径物镜。
"f |xIK`c •接下来，我们将演示如何按照VirtualLab中推荐的工作流程对样本系统进行模拟。
uZhY)o*]@ -lqsFaW 
J _eu(d[9 光线追迹模拟
#WqpU. •首先选择“光线追迹系统分析器”（Ray Tracing System Analyzer）作为模拟引擎。
$z48~nu@ j •点击Go！
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l'@|T •获得3D光线追迹结果。
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.<>(bE 光线追迹模拟
/{71JqFis •然后，选择“光线追迹”（Ray Tracing）作为模拟引擎。
"%E<%g •单击Go！
%ZbdWHO# •结果，获得点图（2D光线追迹结果）。
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@ASAhV^+ 光场追迹模拟
V7(-<})8 •切换到“第二代场追迹”（Field Tracing 2nd Generation）作为模拟引擎。
LTlbrB •单击Go！
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q'7' wT>~7$=L{ 光场追迹结果（照相机探测器）
Mfinh@K, [~{'"-3L0 •上图仅显示Ex和Ey场分量的强度。
X`Jo XNqm •下图通过整合Ex、Ey和Ez分量显示强度：由于高数值孔径情况下相对较大的Ez分量，可以看到明显的不对称性。
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光场追迹结果（电磁场探测器）
nI7v:h 4 G(;R+%pu •通过使用电磁场探测器获得所有电磁场分量。
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