摘要
^( Rvk tl'n->G>v 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,
倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
qH['09/F6 oA1a /[# u !!X6< /*|oL#hK 设计任务
85;b9k&\M ]jpu,jz: HNL42\Kz! .k[o$z\EkF 1级
参数优化
kp\\"+,VC _{jjgQJ5 #Wu*3&a]yU YIR
R=qpn 结果-容差分析
J~(Wf%jM~ L],f3< @]bPVG?d 67y Tvr@a 结果-容差分析
a6kV!,.U !;_H$r0 1n\ t+F ){r2T1+-% VirtualLab Fusion一瞥
id?h >g 5{$LsL DS|KkTy3 aTBR|US VirtualLab Fusion中的工作流程
V(Yxh+KU ^}f -!nf[ 构建光栅结构
9_sA&2P{uV −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
_20#2i& −倾斜光栅高级设定[用例]
#Km:}= •光栅衍射效率分析
{,OS-g −光栅阶序分析器[用例]
R/`q/0T. •使用参数优化进行光栅参数优化
/.M+fr S •使用参数运行的
容差分析
7OWbAu; qaim6a KN"S?i]X Zf7&._y. VirtualLab Fusion技术
lWm' ^s.V;R