[技术]倾斜光栅的参数优化与容差分析 [复制链接]

摘要 Ym%#"  
};2Lrz9<  
对于许多应用来说（例如背光、光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 gISA13  
&2@"zD  
~+6#4<M.~  
daY0;,>  
设计任务 *{JD=ua  
b`wT*&  
FpttH?^  
%jUZc:06  
1级参数优化 %to.'R  
$sL+k 'dY  
1>_$O|dE  
AB!({EIi  
结果-容差分析 r
& RJ'z  
+Kmxo4p  
yokZ>+jb  
a"+/fC`  
结果-容差分析 w6 Y+Y;,'f  
fk#Ggp<  
11$v~<M  
xZAg  
VirtualLab Fusion一瞥 a$"Z\F:x  
J_ h\tM  
?#5)TAW  
$ z+ =lF  
VirtualLab Fusion中的工作流程 G4F~V't  
}WQ:Rmi  
构建光栅结构 qztL M?iV  
−使用特殊材料的光栅结构设定[用例] Cn9MboXX  
−倾斜光栅高级设定[用例] .<P@6Jq  
•光栅衍射效率分析 rI:]''PR  
−光栅阶序分析器[用例] ']Km%uwL  
•使用参数优化进行光栅参数优化 yC}x6xG  
•使用参数运行的容差分析 XF4NRs  
7")&njQ/x  
?!34qh  
UR`pZ.U?  
VirtualLab Fusion技术 oRn5blj  
5OFb9YX