摘要
J7kqyo" {]4Zpev 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,
倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
Y7')~C`up^ Xhpcu1nA rX?%{M,xFw c+##!_[9 设计任务
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1级
参数优化
%@HuAcNi {WTy/$ Qk +iNp8 ZT<VDcP{ 结果-容差分析
\9R=fA1 8 TRE D_6 Q&w"!N -\25&m!+ 结果-容差分析
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Y j !L2!:_ VirtualLab Fusion一瞥
mH)8A+us UMK9[Iy$<M Us%g&MWdpb PlwM3lrj VirtualLab Fusion中的工作流程
#@E:|^$1y I*n]8c 构建光栅结构
#wsi><7 −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
eZ
7Atuv −倾斜光栅高级设定[用例]
#S[Y}-]T •光栅衍射效率分析
Th$xk9TK^@ −光栅阶序分析器[用例]
)&%Y{a# •使用参数优化进行光栅参数优化
E,Xl8rC •使用参数运行的
容差分析
6;(b-Dhi "@t bm[ b)r;a5"<5 n"@){:{4? VirtualLab Fusion技术
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