[技术]倾斜光栅的参数优化与容差分析 [复制链接]

摘要 SXfuPM  
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对于许多应用来说（例如背光、光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 f$Fa*O-  
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设计任务 UX3 ]cr  
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1级参数优化 =SJwCT0;  
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结果-容差分析 7?Vo([8  
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结果-容差分析 ;8z40cD  
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VirtualLab Fusion一瞥 > <cK
  
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VirtualLab Fusion中的工作流程 6*3J3Lc_<  
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构建光栅结构 )aY^
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−使用特殊材料的光栅结构设定[用例] 2,.%]U  
−倾斜光栅高级设定[用例] a%f?OsY  
•光栅衍射效率分析 '_)NI  
−光栅阶序分析器[用例] {=]1]IWt  
•使用参数优化进行光栅参数优化 8SmtEV[b3  
•使用参数运行的容差分析 =/xTUI4  
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VirtualLab Fusion技术 ^<L;"jl%  
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