[技术]倾斜光栅的参数优化与容差分析 [复制链接]

摘要 {3.r6ZwCn  
76Vl6cPu>  
对于许多应用来说（例如背光、光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 "87ghj_}  
l PK +$f$  
WV#%PJ  
H Ge0hl[n  
设计任务 @O[}QB?/fi  
{6~l$  
69J4=5lX  
<j5NFJ9  
1级参数优化 x}Aw)QCh+r  
]Yvga!S"C  
DXa-rk8  
LWHd~"eU  
结果-容差分析 "V$Bnz\n  
yq NzdzX  
}C#;fp"L  
e}.^Tiwd]  
结果-容差分析 .F(i/)vaq|  
;d'Z|H;  
iTV) NsC}  
7?kIVP1r  
VirtualLab Fusion一瞥
w);6K[+;  
H)>;/#!r-  
,I_^IitN  
.?!N^_ Ez3  
VirtualLab Fusion中的工作流程 S}ECW,K  
!V,{_(LT  
构建光栅结构 h<SQL97N  
−使用特殊材料的光栅结构设定[用例] a\:VREKj,  
−倾斜光栅高级设定[用例] ,i,q!M
{-  
•光栅衍射效率分析 HH@qz2w  
−光栅阶序分析器[用例] vMs$ceq  
•使用参数优化进行光栅参数优化 S-'fS2  
•使用参数运行的容差分析 }-o{ASC#  
SJ};TEA  
&g~ wS@  
"eWYv3z~-  
VirtualLab Fusion技术 hwIMn33  
_!?Hu/zo