摘要
"ZA$"^ + cV5h 对于许多应用来说（例如背光、
光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用，
倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的
衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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P3,Z5|) !q7;{/QM6 设计任务
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m<X#W W)N -Fp!w "=T 1级
参数优化
i5L+8kx4 Z>>gXh<e[ 
!:g >CDA 41
c^\1 结果-容差分析
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v;N1' O&rD4# 结果-容差分析
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36x5 q 1 0,"n-5Im VirtualLab Fusion一瞥
mCC:}n"# QXIbFv 
"FLD%3 l ]|((b/L 3 VirtualLab Fusion中的工作流程
@Le ^- v4 vJ'yz#tl9 构建光栅结构
;QvvU[eb −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
Y7b,t d1 −倾斜光栅高级设定[用例]
s$DT .cvO •光栅衍射效率分析
n}ZBU5_ −光栅阶序分析器[用例]
\U<F\i •使用参数优化进行光栅参数优化
j"D0nG, •使用参数运行的
容差分析
\ eyQo>( :)
Fp
B" 
n8;G,[GM80 )=,9`+Zta VirtualLab Fusion技术
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