摘要
!F4@KAv ~ $ f; U 对于许多应用来说（例如背光、
光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用，
倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的
衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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-,aeM~ hf<^/@^tK 设计任务
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1级
参数优化
nG , U>) 3
M10fI? 
7,MS '2nz 6XJ [h 结果-容差分析
)T66<UDK| ^6P 3% 
iy\nio` G #T<`>T 结果-容差分析
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p,<&zHb >K ?D)<, VirtualLab Fusion一瞥
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?$Wn!"EC8 ) wtaKF.- VirtualLab Fusion中的工作流程
^*= 85iyo C"qU-&*v 构建光栅结构
nL}5cPI −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
FvuGup` w −倾斜光栅高级设定[用例]
ow;R$5G •光栅衍射效率分析
I .@hW>k −光栅阶序分析器[用例]
mNAY%Wn6k •使用参数优化进行光栅参数优化
1?Aga,~k:a •使用参数运行的
容差分析
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L~/qGDXC? ] $
b< Gs VirtualLab Fusion技术
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