[技术]倾斜光栅的参数优化与容差分析 [复制链接]

摘要 H=@}=aPf  
k@\ iGqo  
对于许多应用来说（例如背光、光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 vV6<^W:9F  
4Fa~Aog  
%!]@J[*1  
nR7d4)  
设计任务 y.anl  
Olt`:;j-  
!4]TXH0f  
%
u?>#  
1级参数优化 <x@}01~  
l2`s! ,<>O  
WgR).Yx  
O&vVv _zh  
结果-容差分析 J\/cCW-rF  
ccNd'2P  
b $'FvZbk  
J{'>uD.@  
结果-容差分析 0+iu(VbF  
={_C&57N1  
u0 P|0\  

+vvv[  
VirtualLab Fusion一瞥 2!0c4a^z  
wi;Br[d  
4 kn|^  
VE#Wb7  
VirtualLab Fusion中的工作流程 rk&IlAE  
Mxe}B'  
构建光栅结构 c$ao:nP)D  
−使用特殊材料的光栅结构设定[用例] )n+Lo&C<  
−倾斜光栅高级设定[用例] 5}:-h>  
•光栅衍射效率分析 U}&
2k  
−光栅阶序分析器[用例] .)RzT9sg  
•使用参数优化进行光栅参数优化 %+f>2U4I  
•使用参数运行的容差分析 5)FJ:1-  
t,,k  
J3,fk)  
\Npxv  
VirtualLab Fusion技术 V\{clJ\U  
Vc_'hz]Z