[技术]倾斜光栅的参数优化与容差分析 [复制链接]

摘要 r_)*/  
-Jb I7Le  
对于许多应用来说（例如背光、光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 Gb"PMai  
W*P/~U=  
@ ~PL|Pp_  
74Lq!e3hMF  
设计任务 56fcifXz@  
gX[6WB"p  
}RXm=ArN  
co: W!  
1级参数优化 |KuH2,n0  
5'X.Z:  
8ED6C"6  
!aLL|}S  
结果-容差分析 $#CkI09  
%#= 1?1s  
)F:hv[iv  
=h4XsV)rO  
结果-容差分析 j &~OR6  
q?`bu:yS
 

?]:3`;h3  

)H)HR`  
VirtualLab Fusion一瞥 .Ir
5gz  
0Nmd*r  
@X|CubJ  
%|UCs8EFm  
VirtualLab Fusion中的工作流程 )nQ.6  
fxjs"rD5  
构建光栅结构 L\pe  
−使用特殊材料的光栅结构设定[用例]  IS!sJc  
−倾斜光栅高级设定[用例] TeQpmhN  
•光栅衍射效率分析 7Y:1ji0l  
−光栅阶序分析器[用例] ~h -0rE  
•使用参数优化进行光栅参数优化 op;OPf,  
•使用参数运行的容差分析 I U/gYFT  
l9\ *G;  
-Zkl\A$>  
 t;{/Q&C  
VirtualLab Fusion技术 ;8H m#p7,  
q'[5h>Pa