[技术]倾斜光栅的参数优化与容差分析 [复制链接]

摘要 SMY,bU'a  
S}f3b N  
对于许多应用来说（例如背光、光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 (/UW}$] h  
)y4bb^;z  
?& qMC  
%4|*  
设计任务  $A]2Iw!&  
@E %:ALJ  
h+<vWo}H  
S.pL^Ru  
1级参数优化 n!z7N3Ak>  
SR)G!9z_/  
p2 V8{k  
@iwVU]j  
结果-容差分析 <E/4/ ANN  
K4~z@. G6*  
i
Z}Afj  
I .jB^  
结果-容差分析 G_vWwH4XtL  
6<X.]"u+E~  

z*n  

h_#x@
p  
VirtualLab Fusion一瞥 tj$&89  
3D32'KO_"  
FcVQ_6  
9'nM$a  
VirtualLab Fusion中的工作流程 aO8n\'bv  
{w:*t)@j  
构建光栅结构 J<hqF4z  
−使用特殊材料的光栅结构设定[用例] $/*19e~  
−倾斜光栅高级设定[用例] nb-]fa  
•光栅衍射效率分析 B=14 hY@`  
−光栅阶序分析器[用例] 8_byS<b8  
•使用参数优化进行光栅参数优化 :5|'C
 
•使用参数运行的容差分析 Q+@/.qJ  
O&BNhuW2  
7q\&  
jB)RvvMU5  
VirtualLab Fusion技术 O?\UPNb:K  
$d0xJxM