[技术]倾斜光栅的参数优化与容差分析 [复制链接]

摘要 U,oD44  
F;cI0kP=>  
对于许多应用来说（例如背光、光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 '}wG"0  
$~ pr+Ei  

图片:1-19110G51512293.png

on]\J  
&Tf=~6  
设计任务 B=Xnv*e  
RH<@c^ S  

图片:1-19110G51541c6.png

#B}BI8o (  
JA}S{  
1级参数优化 uU8*$+ "  
3c1o,2  

图片:1-19110G516302b.png

{Uik|  
E`oSi ez)  
结果-容差分析 N%|^;4}k  
,2=UuW"K  

图片:1-19110G51HWc.png

W)6U6  
hXV4$Dai  
结果-容差分析 >xxXPvM<`  
NTv#{7q  

图片:1-19110G51K2c1.png

T+&x{+gZ  

6LSPPMM  
VirtualLab Fusion一瞥 v&t`5-e-A  
, I[^3Fn  

图片:1-19110G51Q9D8.png

E'S<L|A/  
k#l'ko/X  
VirtualLab Fusion中的工作流程 5*G8W\ $  
<[ g$N4  
构建光栅结构 +=n x|:no  
−使用特殊材料的光栅结构设定[用例] r?Ev.m  
−倾斜光栅高级设定[用例] ANA2S*r  
•光栅衍射效率分析 *X-~TC0 [  
−光栅阶序分析器[用例] /t%"Dh8x  
•使用参数优化进行光栅参数优化 rwi2kk#
@P  
•使用参数运行的容差分析 LM'*OtpDG  
!Szgph"ul  

图片:1-19110G51933119.png

lB5[#z  
|-SI(Khjk  
VirtualLab Fusion技术 u
;l6sdo  
Y\\3g_YBF  

图片:1-19110G52045463.png