[技术]倾斜光栅的参数优化与容差分析 [复制链接]

摘要 GPLq$^AH  
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对于许多应用来说（例如背光、光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 84jA)  
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1级参数优化 f0]`TjY  
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结果-容差分析 Xot2L{EIUE  
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结果-容差分析 = @n`5g  
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VirtualLab Fusion一瞥 *7G5\[gI$  
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VirtualLab Fusion中的工作流程 H:!pFj  
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构建光栅结构 >%i]p  
−使用特殊材料的光栅结构设定[用例] !B:wzb_  
−倾斜光栅高级设定[用例] KvkU]s_  
•光栅衍射效率分析 #B&%Y6E5  
−光栅阶序分析器[用例] xF])NZy|  
•使用参数优化进行光栅参数优化 '/ *;g#W=  
•使用参数运行的容差分析 j,CVkA*DY  
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VirtualLab Fusion技术 K\y W{y
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