摘要
X ?ZLmP7| }#~E-N3x 对于许多应用来说（例如背光、
光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用，
倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的
衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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7r3CO<fb 67H?xsk@n 设计任务
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%H_-`A` 8)s0$64Ra 1级
参数优化
$AZ=;iP- }"RVUYU 
DIP%*b#l$\ fwx^?/5j 结果-容差分析
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x~m$(LT eC 2~&:$L 结果-容差分析
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f;+.j/ + uARkf' VirtualLab Fusion一瞥
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`6YN/"unfp 18kWnF]n= VirtualLab Fusion中的工作流程
[(3 %$?[ ncVt (!c,e 构建光栅结构
2cS94h −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
V3|"
v4 −倾斜光栅高级设定[用例]
DqI "B •光栅衍射效率分析
m ICx9o z] −光栅阶序分析器[用例]
G^;]]Ji" •使用参数优化进行光栅参数优化
&{# 6Z •使用参数运行的
容差分析
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ZT-O VirtualLab Fusion技术
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