[技术]倾斜光栅的参数优化与容差分析 [复制链接]

摘要 b" kL)DL1L  
om1D}irKT  
对于许多应用来说（例如背光、光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 ^TqR0a-*  
6Zmzo,{  

图片:1-19110G51512293.png

xsRu~'f  
9)S,c=z83  
设计任务 )rbcY0q  
la_FZ
 

图片:1-19110G51541c6.png

3z!^UA>q  
9D @}(t!  
1级参数优化 4Ep6vm X  
dG%{&W9  

图片:1-19110G516302b.png

?Vc/mO2X  
J8@7 5p9  
结果-容差分析 ?1]h5Uh[b  
tWI%
P&b  

图片:1-19110G51HWc.png

xeKfc}:&z  
$c];&)7q  
结果-容差分析 im@c||
 
>]/aG!  

图片:1-19110G51K2c1.png

,Ad{k   
Ht7v+lY90^  
VirtualLab Fusion一瞥 L r9z~T:ED  
F>"B7:P1:Q  

图片:1-19110G51Q9D8.png

wQrD(Dv(yA  
f=Kt[|%'e  
VirtualLab Fusion中的工作流程 43/!pW  
DX<xkS[P  
构建光栅结构 vve[.Lud'  
−使用特殊材料的光栅结构设定[用例] Rqun}v}  
−倾斜光栅高级设定[用例] ke5_lr(  
•光栅衍射效率分析 l/6(V:  
−光栅阶序分析器[用例] {AO`[  
•使用参数优化进行光栅参数优化 86m
l.VOR  
•使用参数运行的容差分析 `E5vO1Pl  
)B5(V5-!|  

图片:1-19110G51933119.png

~.<}/GP]_  
b)+;@wa~  
VirtualLab Fusion技术 l1D"*J 2`  
{>zQW{!  

图片:1-19110G52045463.png