1.摘要
UJO+7h' CpA=DnZ 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
/@q_`tU h.PY$W<
=r`>tWs 8L0#<"'0 2. 建模任务
g8^ $, rN
OwB2e
</7J:# ee6Zm+.B 3. 干涉条纹的变化
nlh%O@, Bp9
u6R
By%aTuV$ S);bcowf_ 4. 走进VirtualLab Fusion
5'6Oan7dL: "zfy_h
}6`#u:OZ znD0&CS9q 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
od$Cm5 RxcX\:
.F |yxj;I7 _K'YaZTa;~ 6. VirtualLab Fusion 技术
$33wK 0D=6-P?^W