1.摘要
NqZRS>60v >Y/[zfI2 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
bSr 'ji )T64(_TE {a3kn\6H0 w}Upa(dU 2. 建模任务
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@uCD F3Y>hs):7 Z0=m:h 3. 干涉条纹的变化
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H< ;Fb;b X?6h>%) k 3] qlz?5 4. 走进VirtualLab Fusion
y@M}T{,/ ^)q2\YE; O$Vm#|$sq CJ?gjV6 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
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;P ~+#--BhV ,w%oSlOu 6. VirtualLab Fusion 技术
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