1.摘要
:^Pks R CxeW5qc 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
aUzCKX%>C Lj(cCtb) m)} 01N4 p09p/ 2. 建模任务
ghWWJx9 Qw:!Rw,x >xabn*Kq R?O)vLmd 3. 干涉条纹的变化
+:uz=~mo` MNWI%*0LO y0sce eFG(2OVg}M 4. 走进VirtualLab Fusion
Q8%_q"C t|eH'"N%o t$z[ja= E I zy 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
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zS[ ;o3gR4u_L .a]#AFX 6. VirtualLab Fusion 技术
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