1.摘要
Tpkt'|8 ~52'iI)Mw 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
ozHL'H \]\GDpu[ c@4$)68 ^hT2ed + 2. 建模任务
[+}0K{(O= UKB/>:R G1ruF8 vJx( lU`Y 3. 干涉条纹的变化
uo|:n"v j*1MnP3/8Y mU||(;I Sb)} 4. 走进VirtualLab Fusion
=~)rT8+) _Vc4F_ -h8Z@r~a/ 9c{ ~$zJW 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
0}9j l ,eqRI>,\ k%s,(2)30 %Z*)<[cIE0 6. VirtualLab Fusion 技术
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