1.摘要
xXktMlI ]O\Oj6C 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
"x*5g*k {LLy4m
r6Hdp Pkbx/\ 2. 建模任务
{G
D<s)) $`emP
Hel
u(s/4Lu
Z E*m; 3. 干涉条纹的变化
6DFF:wrm& WD^!G;}
U Ux] lo*)%fy 4. 走进VirtualLab Fusion
rK%A=Q `KgWaf-
x}W,B,q xnW3,:0 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
gqje]Zc< OeuM9c{
@k!J}O
K {/C
\GxH+ 6. VirtualLab Fusion 技术
Dg$Z5`%k8 Bw31h3yB