1.摘要
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Vp-7r -1d$w` 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
-H\j-k "7(@I^'t6 v8uUv%Hkd `K$;K8! 1 2. 建模任务
w5-^Py WzdlrkD qoph#\ =RWY0| f 3. 干涉条纹的变化
(ux9"r^g;x |tY6+T} 6>)KiigZ\ d`?EEO 4. 走进VirtualLab Fusion
}]=A:*jD \8{Tj54NA dj,lbUL h52+f 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
Iw$T'I+4W Sxy3cv53 NXOvC!< LBpAR| 6. VirtualLab Fusion 技术
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