1.摘要
Ei[>%Ah YZH&KGY 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
N}tiaL4 g`BtG
j[Xci<m &0*=F%Fd 2. 建模任务
)mVpJYt; 4Cdl^4(LT
hRvjiK\ Yuo 3. 干涉条纹的变化
)KPQ8y!d Y$SwQ;wl
,B=;NKo R%Y#vUmBV{ 4. 走进VirtualLab Fusion
'U"ub2j M>BcYbXf
fq2t^c|$ zz1e)W/ 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
aA5rvP+ Fl'+ C
\-?@
&' : >(aGk{e1 6. VirtualLab Fusion 技术
g^dPAjPQ A=5A8B1