1.摘要
5Ffz^;i Sn/~R|3XA7 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
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O% va8V{q@t' 2. 建模任务
szwXr 8P!dk5,,O MOG[cp ~&~%q u 3. 干涉条纹的变化
d/(=q \wNn c" = sIR[V'( j78xMGKO 4. 走进VirtualLab Fusion
v-)eT 9kP!O_ C<fNIc~. d#a 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
Prhq ~oI4 @U:T}5)wc 4W.;p"S2 g#_?Vxt 6. VirtualLab Fusion 技术
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