1.摘要
D>Rlm,U e+>$4Jq 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
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8(w+h{ aMJ2bu W%o! m,zFM 2. 建模任务
ltNY8xrdGN Z,M2vRj"qT !:tr\L { _?$w8 S% 3. 干涉条纹的变化
hPCSAo!| M&H,`gm ej=}OH4 B7oUS}M 4. 走进VirtualLab Fusion
%Q;:nVt ?@MWV CUBL/U\= %|j`;gYV 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
$Q,]2/o6n 8E9k7 `49!di[ |8GLS4.]t 6. VirtualLab Fusion 技术
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