1.摘要
!;SpQ28 fwy-M: 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
zS Yh ?NB5 Fr%LV#Q JJnZbJti n'/w(o$& 2. 建模任务
lu^c^p; +uF!.!} E"Z9 NDgl# 9T47U; _) 3. 干涉条纹的变化
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K 4. 走进VirtualLab Fusion
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}%)6n JM{S49Lx '3>kD H+ 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
=&*:) F|*{Ma 2,nKbE9* IMY?L 6. VirtualLab Fusion 技术
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