1.摘要
8;GuJP\ dk[MT'DV 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
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]vc_N ]!'9Y}9a DC+l3N 2. 建模任务
r$<4_* P`TJqJiY~ 7?W1i{( 2Mw^EjR 3. 干涉条纹的变化
s^zX9IVnp i=AQ1X\s uB>OS1= 7L !$hk 4. 走进VirtualLab Fusion
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F*J@OY8i mr<camL5 <BX'Owbs!O 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
'Fr"96C$ ?CSv;: -4LckY=]1 V8}jFib 6. VirtualLab Fusion 技术
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