1.摘要
9}IVNZc UzP@{? 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
'lSnyW{ >c~9wv _CYmG"mY `"-`D!U?$ 2. 建模任务
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} [U_Q 2<H Z)b)v 3. 干涉条纹的变化
|>m# m*{S ^Hy)<P &z1| {g23[$X]N 4. 走进VirtualLab Fusion
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oF /;]B1T7 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
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cHV3cz I*`=[nR 7J</7\ 6. VirtualLab Fusion 技术
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