1.摘要
*t9qH '^3pF2lIw 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
xm,yqM!0A 9],"AjD 8&hn$~ate Cy'W!qH 2. 建模任务
@$}\S L>GYj6D9 sc>)X{eb H4A+Dg, 3. 干涉条纹的变化
}U1shG[ N ] /d J&1N8Wk) e;r-}U 4. 走进VirtualLab Fusion
[;8fL @|A&\a-"J |ema-pRC vJ} 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
iGNKf|8{ vGp@YABM B#n}y $:Zxb 6. VirtualLab Fusion 技术
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