1.摘要
jG#e%`' rTST_$"_6 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
RH$YM
`cZ Q5 o0!w YWk+}y}^d j:^gmZ;J 2. 建模任务
5OAb6k' @j(2tJ,w br?pfs$U 1k$5'^]^9] 3. 干涉条纹的变化
ClPE_Cfw~ DW)81*~g C_h$$G{S( G) 37?A) 4. 走进VirtualLab Fusion
<J}JYT <:StZ{o; a`U/|[JM = ^%*: iT 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
-V'Y^Df vnlHUQLO 7eFFKl '_91(~P 6. VirtualLab Fusion 技术
+7y#c20 L /N%ft]!T