[技术]白光迈克尔逊干涉仪 [复制链接]

1.摘要 *B#OLx  
 *X*D, VY  
白光干涉仪是一种非接触测量技术，用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性，结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 ) OZDq]mV  
bTA<AoW9="  

图片:1-191204120226228.png

^P"
t "  
Lg9]kpOpa  
2. 建模任务 bkmX@+Pe  
q1r\60M  

图片:1-19120412030c28.png

/P^@dL  
/J/r62  
3. 干涉条纹的变化 XwX1i!'54  
^nkwT~Bya  

图片:1-191204120352336.png

xdYjl.f  
>8t(qM-~:  
4. 走进VirtualLab Fusion PM9HfQU?  
V *S|Qy!p  

图片:1-1912041204141I.png

~i))Zc3,g\  
5w}xjOYIjV  
5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 bCd! ap+#  
tDy1Gh/c  

• 输入场设置

• 基本光源模型[视频教程]

• 定义元件的位置和方向

• 光路图II：位置和方向[视频教程]

• 正确设置非序列追迹通道

• 非序列追迹的通道设置[使用案例]

• 使用“参数运行”检查影响/变化

• “参数运行文件”的使用[使用案例]

图片:1-191204120454308.png

Gg5vf]VFo  
BzTm[`(h  
6. VirtualLab Fusion 技术 CrS[FM= +W  
gJs~kQU  

图片:1-19120412051Q53.png