[技术]白光迈克尔逊干涉仪 [复制链接]

1.摘要 K7+yU3  
WNjwv/  
白光干涉仪是一种非接触测量技术，用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性，结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 CLb6XnkcA\  
'|C3t!H`  

图片:1-191204120226228.png

tli.g  
bLgH3[{  
2. 建模任务 rz?Cn X.t  
kI\m0];KnQ  

图片:1-19120412030c28.png

hRcb}>pr  
o`?rj!\  
3. 干涉条纹的变化 S&op|Z)1  
*sho/[~_  

图片:1-191204120352336.png

T(4d5 fY  
K"}fD;3  
4. 走进VirtualLab Fusion OZ,kz2SF#  
DX>a0-Xj  

图片:1-1912041204141I.png

7io["zW  
--$o$EP`  
5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
]rmBM  
1gEH~Jmj  

• 输入场设置

• 基本光源模型[视频教程]

• 定义元件的位置和方向

• 光路图II：位置和方向[视频教程]

• 正确设置非序列追迹通道

• 非序列追迹的通道设置[使用案例]

• 使用“参数运行”检查影响/变化

• “参数运行文件”的使用[使用案例]

图片:1-191204120454308.png

^[L(kHOGzk  
=8kmFXo  
6. VirtualLab Fusion 技术 Kz4S6N c  
:QCL9QZ'  

图片:1-19120412051Q53.png