1.摘要
u&Q2/Y rT$J0"*= 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
x'Pp! p12'^i | 55xaZ#| SrGX4 2. 建模任务
3vRRL I^|6gaP|6 y ,][ Ny|2Fcs 3. 干涉条纹的变化
S9kagiFX\ 0'u2xe 1L722I@ ',GWH:B 4. 走进VirtualLab Fusion
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HrC P,5gaT) Zp'c>ty= .ko8`J%%M 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
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= 6. VirtualLab Fusion 技术
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