1.摘要
9ctvy?53H /*g3TbUs 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
IlsXj`!e (Da/$S. N-|E^XIV (&0%![j& 2. 建模任务
^RytBwzKM R%o:'-~ <jF]SN kA?a} 3. 干涉条纹的变化
|n=m{JX \m IW3ZHmrpA OiNzN.}d Xu`c_ 4. 走进VirtualLab Fusion
Zpg/T K xy$73K6 'gk.J ,ii*[{X? 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
Sj;B1& %"PG/avo #pP4\n-~hU jW*|Mu>2 6. VirtualLab Fusion 技术
?|'+5$ ;vvO#3DWM