1.摘要
F'njtrO3 4?aNJyV%& 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
[}"m4+ )oMMDHw\ q&: t$tSS nD{{/_"' 2. 建模任务
-$(2Z[ B|-W 5Ja[p~^L V}q=!zz 3. 干涉条纹的变化
= /=?l W_|7hwr >]?!9@#IH OJ)XJL 4. 走进VirtualLab Fusion
S6c>D&Q WNiM&iU X@@7Qk +J:wAmY4 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
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H 6. VirtualLab Fusion 技术
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