1.摘要
IuL]V TY rL/+`H 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
&/"
qOZAs 5irOK9hK
shRvwE[ ]0O$2 j_ 7 2. 建模任务
#;)7~69 Qy%/+9L
;DOz92X94 'S\H% - 3. 干涉条纹的变化
{z7{ta ' =kX
\v<}{\.|$ >=(e}~5y 4. 走进VirtualLab Fusion
iJK9-k~ &W%TY:Da|
ZL
Aq8X 6)8']f 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
g|oPRC$I' Q]HRg4r
<5
+?&i w@4+&v>O 6. VirtualLab Fusion 技术
5VN4A<)) /\.kH62