1.摘要
bh9!OqK9K ;E"TOC 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
0pYCh$TL1 d1"%sI :UMtknV w*E0f?s 2. 建模任务
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\ *Z+8L*k97 3. 干涉条纹的变化
l Wa4X#~. a2{nrGD P2q'P& [HV>4,,3" 4. 走进VirtualLab Fusion
Od?M4Ed( &rcC7v K9 ?W#>9WQi 7~2/NU? 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
A1mxM5N x2^Yvgc- Z`?Z1SBt *5\k1-$ 6. VirtualLab Fusion 技术
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