1.摘要
$7a|
9s0 ~cz]Rhq 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
i5?)E7- Ox8dnPcx
3%/]y=rA xgrk>Fb|R 2. 建模任务
/u<lh.
hPW K$\az%NE
W8,XSUl g.kpUs 3. 干涉条纹的变化
5@tpJ8E8$ J#L-Slav%
fGcAkEstT! (zWzF_v 4. 走进VirtualLab Fusion
j1N1c~2 Z@nM\/vLA
?g}n$%*5y! +Q_X,gZ 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
Y$--Hp4 /"- k
;jz
U>(5J,G ;Z-Cn. 6. VirtualLab Fusion 技术
;*:d)'A &O#a==F!(