1.摘要
Dkz/hg:q 2RkW/)A9 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
|R}=HsYey Bh3F4k2bg7 nI*.(+h bJ^h{] 2. 建模任务
1h$?, 2l<2srEK :ppaq w2DC5ei' 3. 干涉条纹的变化
:21d *fg2bz<~[B <s9{o
uZ ZNQx;51 4. 走进VirtualLab Fusion
[neuwdN :PO./IBX q1}!O kr"2 $mQ0w~:@ 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
/v
8"i^;} *Al@|5 |+nmOi,z <z<>E1ZLI 6. VirtualLab Fusion 技术
\,#$,dUXD . &^p@A~