1.摘要
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1T 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
3q:>NB< *WZ?C|6+ ub=Bz1._ E3,Nc`'m9 2. 建模任务
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a8;MxK` 3. 干涉条纹的变化
Fd/.\s >p@v'h/Cr ":,J<|Oy %tJ@) 4. 走进VirtualLab Fusion
cr<ty"3\ $jgEB+ $WHmG!)* },(Ln%M 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
^%~ux0%^T `%A>{ A" k1Thjt Ob>M]udn 6. VirtualLab Fusion 技术
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