1.摘要
8bf~uHAr v~AD7k2{8 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
C9VtRq F`eo3z Evy_I+l 2,^U8/ 2. 建模任务
IA3m.Vxj ^ "IA:,j.#g %s),4 tW[dJKw 3. 干涉条纹的变化
9H%dK^C ClWxL#L6~ .:(T}\]R c*DBa]u2 4. 走进VirtualLab Fusion
dhCrcYn -E+LA /DGEI&}&:u =}OcMM`f 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
E06)&tF w^=uq3X? 4DV@- ,1e\}^ 6. VirtualLab Fusion 技术
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