1.摘要
oObm5e*Z uus}NZ:*l 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
k(n{$ ~.4-\M6[ %j],6wW5J LqnN5l@_B 2. 建模任务
Y)@mL~){ r3a$n$Qw #V4kT*2P) R/)cEvB-0 3. 干涉条纹的变化
: `D[0 z@E-pYV Rpit> r&AX 4. 走进VirtualLab Fusion
3eUTV<! J 00<NRxj" J8|F8dcz 7.4Q 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
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pq sjOyg!e 5IeF |#g C`F*00M{ 6. VirtualLab Fusion 技术
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