[技术]白光迈克尔逊干涉仪 [复制链接]

1.摘要 UN"U#Si)  
|vLlEN/S  
白光干涉仪是一种非接触测量技术，用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性，结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 MY$-D+#/
`  
K7 N)VG  

图片:1-191204120226228.png

r:n-?P  
HsQ\xQ"k!  
2. 建模任务 LmA IvEr  
G'\x9%  

图片:1-19120412030c28.png

6d%|yl  
.^} vDA  
3. 干涉条纹的变化 ti}g?\V
T  
faJ>,^V#  

图片:1-191204120352336.png

a|s64+  
9}TQu0  
4. 走进VirtualLab Fusion HxXCxI3  
;&9A Yh.  

图片:1-1912041204141I.png

aRh1Q=^@(4  
Ub%sw&QG(9  
5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 >aaHN1Ca  
B&Igm<72x  

• 输入场设置

• 基本光源模型[视频教程]

• 定义元件的位置和方向

• 光路图II：位置和方向[视频教程]

• 正确设置非序列追迹通道

• 非序列追迹的通道设置[使用案例]

• 使用“参数运行”检查影响/变化

• “参数运行文件”的使用[使用案例]

图片:1-191204120454308.png

,svj(HP$  
O(Tdn;1  
6. VirtualLab Fusion 技术 nY
F *f  
.bT|:Q~@{  

图片:1-19120412051Q53.png