1.摘要
;t.)A3 PL u~N'UD1x 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
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T+5H2]yy) e&<=+\ul 2. 建模任务
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(L2'7/ 3. 干涉条纹的变化
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BUBtK-n~"3 ,nniSG((3 4. 走进VirtualLab Fusion
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a{}8030S HIlTt 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
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O3p<7`K<4 A{Y/eG8 6. VirtualLab Fusion 技术
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