1.摘要
f{j(H?5 nW7Ew<`Q 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
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DE%ot =V(|3?N 2. 建模任务
B9Y*'hmI =%IBl]Z!" sUEvL(%nY 'X@>U6s 3. 干涉条纹的变化
p@Ng.HE Lkl+f~m ;*=MI/"N $yY\[C 4. 走进VirtualLab Fusion
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CLT 5^ +QTQ N@>o:(08 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
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iu$i6 o6LZ05Z-& 6. VirtualLab Fusion 技术
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