1.摘要
5J~@jPU #u"$\[ G 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
'+&!;Jj, hm,H3pN 0g'MFS #b,!N 2. 建模任务
=I8^E\O(" 'r'+$D7 VPvQ]}g6k &iO53I^r/ 3. 干涉条纹的变化
7<0oK|~c# x~?|bnM#3 C23Gp3_0/ b?,''t 4. 走进VirtualLab Fusion
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R K?@x'q1 pnpf/T{xpM 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
n,#o6ali> xey?.2K1A nTv^][ yk0^m/=C( 6. VirtualLab Fusion 技术
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