[技术]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

摘要 '<hgc  
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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 1(m[L=H5>  
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建模任务 t;)`+K#1:  
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仿真干涉条纹 d?1[xv;  
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走进VirtualLab Fusion #w]@yL]|is  
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VirtualLab Fusion中的工作流程 5,K*IH  
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•设置输入场 ]s^
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−基本光源模型[教程视频] d<afO?"  
•使用导入的数据自定义表面轮廓 ]MV=@T^8#  
•定义元件的位置和方向 H!uq5`j0K  
− LPD II：位置和方向[教程视频] rn%q*_3-o  
•正确设置通道以进行非序列追迹 DzG$\%G2R}  
−非序列追迹的通道设置[用例] )W$@phY(I  
•使用参数运行检查影响/变化 |j~{gfpSE  
−参数运行文档的使用[用例] =F90SyzTy  
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