[技术]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

摘要 \;x+KD  
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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 6P;JF%{J  
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建模任务 b@@`2O3"  
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仿真干涉条纹 UX=JWb_uGm  
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VirtualLab Fusion中的工作流程 {zhN>n_  
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•设置输入场 OpmI" 4{+  
−基本光源模型[教程视频] tv,iCV  
•使用导入的数据自定义表面轮廓 ='<0z?Af  
•定义元件的位置和方向
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− LPD II：位置和方向[教程视频] $d.UF!s  
•正确设置通道以进行非序列追迹 OL&ku &J_  
−非序列追迹的通道设置[用例] !u)veh3x  
•使用参数运行检查影响/变化 E`.dU<8HE  
−参数运行文档的使用[用例] 5'gV_U  
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