摘要
CZS{^6Ye . u>IjK^ 扫描
干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
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\8'fy\ )ZEUD] X 建模任务
|nk&ir6 I;S[Ft8d .Qn54tS0q 仿真干涉条纹
,q] W i # .>Gq/[c0| KLGhsx35 走进VirtualLab Fusion
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j{C+`~O kQxY"HD VirtualLab Fusion中的工作流程
*Sm$FMWQ Rf+ogLa= •设置输入场
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基本光源模型[教程视频]
z)='MKrEt- •使用导入的数据自定义表面轮廓
): •定义元件的位置和方向
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LPD II：位置和方向[教程视频]
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'`W7&A •正确设置通道以进行非
序列追迹
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非序列追迹的通道设置[用例]
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参数运行检查影响/变化
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参数运行文档的使用[用例]
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g?q|W TL ;2,@H` VirtualLab Fusion技术
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