[技术]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

摘要 DQXx}%Px  
TK?N^ly  
扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 c)~|#v  
T $]L 5  

图片:1-191209152110491.png

I{U
B!0H  
I,Y^_(JW  
建模任务 `.Q3s?1F  
AQGE(%X  
g[)hm`{?  
仿真干涉条纹 ?^GsR[-x  
X
E%6c3s  
A^7Zy79  
走进VirtualLab Fusion ?Og;W9i  
iEO2Bil]  

图片:1-191209152K5539.png

UsKn4Kh  
5 :>  
VirtualLab Fusion中的工作流程 *3oQS"8  
wpMQ 7:j  
•设置输入场 8j+;Xlh  
−基本光源模型[教程视频] +/8?+1E ^  
•使用导入的数据自定义表面轮廓 3ZZI1_j  
•定义元件的位置和方向 =v"{EmT[$  
− LPD II：位置和方向[教程视频] OtqLigt&l  
•正确设置通道以进行非序列追迹 9jBr868  
−非序列追迹的通道设置[用例] 01w/,r  
•使用参数运行检查影响/变化 +@v} (  
−参数运行文档的使用[用例] $\H46Ji  
jH/%Z5iu  

图片:1-191209152Tb56.png

v)pWx0l=  
EU~'n-  
VirtualLab Fusion技术 WL]'lSHa  
h"m7r4f