[技术]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

摘要 ,,H;2xYf  
t{>#)5Pqv  
扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 B`.aQ  
T$`m!mQ4  

图片:1-191209152110491.png

O&MH5^I  
'z^'+}iyv  
建模任务 w[F})u]E  
>yr;Y4y7K  
9% C]s  
仿真干涉条纹 +.&P$`;TZj  
rrR"2WuGO  

l
9C `:g  
走进VirtualLab Fusion D_?Tj  
'j*Q   

图片:1-191209152K5539.png

Zr1"'+-  
#q K.AZi  
VirtualLab Fusion中的工作流程 ZBR^$?nj  
k;jl3GV  
•设置输入场 T9}~]zW7P  
−基本光源模型[教程视频] '%4fQ%ID}  
•使用导入的数据自定义表面轮廓 VH4wsEH]  
•定义元件的位置和方向 L*dGo,oN  
− LPD II：位置和方向[教程视频] KB
^8Z@(+  
•正确设置通道以进行非序列追迹 %19~9Tw  
−非序列追迹的通道设置[用例] gm pY[  
•使用参数运行检查影响/变化 qtdkK LT  
−参数运行文档的使用[用例] t{yj`Vg  
H\V?QDn  

图片:1-191209152Tb56.png

b1>]?.  
*#E_KW1RV  
VirtualLab Fusion技术 4i.&geXA.  
l?$X.CwX