摘要
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hZ@frbuowk 扫描
干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
:"QR;O@ E;m]RtvH &[71~.Od d [K71 建模任务
0?c2=Y Bv-|#sdxm iQs^2z#Bd 仿真干涉条纹
5B6twn~[ G*;?&;* xE>H:YPm 走进VirtualLab Fusion
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N(8? M~'4>h} VirtualLab Fusion中的工作流程
) 0NKL:u })#VO-J •设置输入场
8(d Hn −
基本光源模型[教程视频]
3XykIj1 •使用导入的数据自定义表面轮廓
5PF?Eq •定义元件的位置和方向
rdj_3Utv −
LPD II:位置和方向[教程视频]
VZveNz@]r •正确设置通道以进行非
序列追迹
P;~`%,+S −
非序列追迹的通道设置[用例]
Y=G9|7*lO •使用
参数运行检查影响/变化
\e)>]C}h −
参数运行文档的使用[用例]
rK` x< 9t$#!2z )ZZjuFQJ) H){}28dX VirtualLab Fusion技术
RBOb/.$ M~/Pk7CC