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    [技术]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2023-11-07
    关键词: 干涉仪
    摘要  hY1|qp  
    K8U Az"  
    扫描干涉是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 _RW[]MN3*  
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    建模任务 "pZ3  
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    仿真干涉条纹 [Kj:~~`T   
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    走进VirtualLab Fusion nP3GI:mjL  
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    VirtualLab Fusion中的工作流程 p0rwiBC=q  
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    •设置输入场 3\KII9  
    基本光源模型[教程视频] GVEWd/:X(  
    •使用导入的数据自定义表面轮廓 gFT~\3j p=  
    •定义元件的位置和方向 MA+-2pMc|7  
    LPD II:位置和方向[教程视频] <!9fJFE  
    •正确设置通道以进行非序列追迹 M?B(<j1Ri  
    非序列追迹的通道设置[用例] %]ayW$4  
    •使用参数运行检查影响/变化 }o^A^  
    参数运行文档的使用[用例] ,8I AhQa  
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    p{a]pG+3  
    VirtualLab Fusion技术 v1C.\fL  
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