摘要
#msk'MVt Y_f6y 9?ZE 扫描
干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
&AlVJEI+ PsLuyGR.< |4 wVWJ7 v>0xHQD*<M 建模任务
JNk
]$ xz TQbhK^] HiVF<tN 仿真干涉条纹
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"H&)aHw 0y|}}92: 走进VirtualLab Fusion
*gZ4Ub|O f'R^MX2 }U+gJkY2 QJ pUk%Wj VirtualLab Fusion中的工作流程
1kTJMtZG~ 5/Swn9vwl •设置输入场
{v~& .| −
基本光源模型[教程视频]
f,PFvT$5e •使用导入的数据自定义表面轮廓
8M:;9a8fh •定义元件的位置和方向
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GJO[ −
LPD II：位置和方向[教程视频]
m.S@ e8kS •正确设置通道以进行非
序列追迹
B||^ sRMX −
非序列追迹的通道设置[用例]
(q3(bH~T) •使用
参数运行检查影响/变化
^K&& O { −
参数运行文档的使用[用例]
mKWA-h+f U3%! #E{ uVOOw&q_ 8|V6Rg A% VirtualLab Fusion技术
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