摘要
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干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
"Jf4N 2$iw/r M\9IlV?' _d/GdeLs 建模任务
s87 a% 6|%^pjX5 Vn@A]Jx^ 仿真干涉条纹
^NY+wR5Sn /j$$0F>s7 tsB.oDMP 走进VirtualLab Fusion
Z4=_k{* is64)2F]( $U\!q@'$ "sdcP8])d VirtualLab Fusion中的工作流程
o`oRG)QC i?lX,9% •设置输入场
G[ ,,L −
基本光源模型[教程视频]
="/R5fp •使用导入的数据自定义表面轮廓
jM{qRfOrg •定义元件的位置和方向
2Y9y5[K,F) −
LPD II:位置和方向[教程视频]
11PLH0 •正确设置通道以进行非
序列追迹
Ma% E&.ed −
非序列追迹的通道设置[用例]
muW`pm •使用
参数运行检查影响/变化
e!TG< (S −
参数运行文档的使用[用例]
]kyle3#-~ kt;}]O2%R ~3LhcU- Rc$=+K# VirtualLab Fusion技术
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