[技术]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

摘要 ~;vt{pk  
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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 qo7jrY5G  
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建模任务 g3TqTs  
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仿真干涉条纹 o?5;l`.L}  
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走进VirtualLab Fusion ZY*_x)h+#7  
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VirtualLab Fusion中的工作流程 ,U.|+i{  
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•设置输入场 "ZP)[ [Rd  
−基本光源模型[教程视频] ZM_-g4[H  
•使用导入的数据自定义表面轮廓 XGAR8=tic  
•定义元件的位置和方向 >:|jds#  
− LPD II：位置和方向[教程视频] m%U$37A1  
•正确设置通道以进行非序列追迹 +HEL^  
−非序列追迹的通道设置[用例] Sr+ &  
•使用参数运行检查影响/变化 <G#Q f|&  
−参数运行文档的使用[用例] y$+_9VzYB  
Cf.(/5X  
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VirtualLab Fusion技术 D<lVWP  
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