摘要
hY1|qp K8U Az" 扫描
干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
_RW[]MN3* Ky y G8;G% q%k+x) @ |GeR 建模任务
"pZ3 h3kHI?jMWG fMQ*2zGu95 仿真干涉条纹
[Kj:~~`T Ft7a\vn*B yo*iv+l 走进VirtualLab Fusion
nP3GI:mjL 7idi & h" Qsntf.fT } x.)gW VirtualLab Fusion中的工作流程
p0rwiBC=q O&,O:b:@ •设置输入场
3 \KII9 −
基本光源模型[教程视频]
GVEWd/:X ( •使用导入的数据自定义表面轮廓
gFT~\3j p= •定义元件的位置和方向
MA+-2pMc|7 −
LPD II：位置和方向[教程视频]
<!9fJFE •正确设置通道以进行非
序列追迹
M?B(<j1Ri −
非序列追迹的通道设置[用例]
%]ayW$4 •使用
参数运行检查影响/变化
}o^A^ −
参数运行文档的使用[用例]
, 8I AhQa V./w06;0 #eC;3Kq#- p{a]pG+3 VirtualLab Fusion技术
v1C.\fL b.4Xn0-M
