摘要
;,Q6AS! 4KCJ(<p| 扫描
干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
6d#
V 4>$weu^
v|K<3@J s^Wh!:>r/ 建模任务
>Pw
ZHY Gp5=cV'k bRb+3au_x
仿真干涉条纹
cnwpd%]o +7|Q d}\X )OgQ&,# 走进VirtualLab Fusion
_;yi/)-2 gBCO>nJws
I]OVzM =Zc
Vywz;+ VirtualLab Fusion中的工作流程
.P>-Fh,_p f0,,<ib.w •设置输入场
c<J/I_! −
基本光源模型[教程视频]
Bm&% N?9 •使用导入的数据自定义表面轮廓
Lp}>WCams •定义元件的位置和方向
j/Rm~!q −
LPD II:位置和方向[教程视频]
-yH8bm'0" •正确设置通道以进行非
序列追迹
h,WF'X+ −
非序列追迹的通道设置[用例]
"G,$Sqi@ •使用
参数运行检查影响/变化
eFiUB −
参数运行文档的使用[用例]
;mYj`/Yj D%=FCmL5@=
-F+dmI,1$ AyUiX2=w1 VirtualLab Fusion技术
fR6.:7& 5$C]$o}