摘要
xm%Um\Pb7 UQ'\7OS 扫描
干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
O_$m!5ug /<E5"Mm% r~N"ere26 ]GN7+8l 建模任务
5Ycco,x u1t%(_h [`p=(/I&L 仿真干涉条纹
I([!]z ulu9'ch ?z}=B 走进VirtualLab Fusion
=3q/F7- Wm_4avXtO x\F,SEj 9UKp?SIF VirtualLab Fusion中的工作流程
vN|l\!~ >2~+.WePu •设置输入场
"
Om[~-31 −
基本光源模型[教程视频]
hJwC~HG5 •使用导入的数据自定义表面轮廓
%FXfqF9 •定义元件的位置和方向
NLS%S q −
LPD II:位置和方向[教程视频]
m_=$0m J$ •正确设置通道以进行非
序列追迹
fQ/
0R −
非序列追迹的通道设置[用例]
/J04^6 •使用
参数运行检查影响/变化
dYSr4pb −
参数运行文档的使用[用例]
Sl-v W Jj,U RD&0R ,Vh.T&X5 gN24M3{C VirtualLab Fusion技术
<,3^|$c% `kbSu}