[技术]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

摘要 ' >a(|  
>YP6/w,e  
扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 wdS4iQD  
/5cFa  
q@K8,=/.#  

Ik[aiz  
建模任务 ?,GCR1|4  
hP1}Do  
yB][ 3?lv  
仿真干涉条纹 #p'Xq }]  
zTA+s 2  
Uc oVp}vl  
走进VirtualLab Fusion q\+khy,k  
M"cB6{st[  
R9=K/  

cuv?[M  
VirtualLab Fusion中的工作流程 <}e2\x  
5=< y%VF  
•设置输入场 @t
v3\eD  
−基本光源模型[教程视频] +um Ua  
•使用导入的数据自定义表面轮廓 E=N44[`.G  
•定义元件的位置和方向 [C1.*Q+l  
− LPD II：位置和方向[教程视频] b6KO_s:'g  
•正确设置通道以进行非序列追迹 `re9-HM  
−非序列追迹的通道设置[用例] 5/U|oZM"  
•使用参数运行检查影响/变化 /u hA\m(  
−参数运行文档的使用[用例] b.=bgRV2{x  
"S8JHHx  
Q[g>ee  
%x$1g)  
VirtualLab Fusion技术 zJ-_{GiM*L  
Fk&W*<}/;