摘要
4 *Bp %'RI3gy 扫描
干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
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P| 建模任务
#]5&mKi 04I6-}6 L@)b%Q@a 仿真干涉条纹
+^/Nil ~C}(\8g f28gE7Y\a 走进VirtualLab Fusion
%E4$ZPSW nQ:ml
^Nd|+} 7xLo4 VirtualLab Fusion中的工作流程
se<i5JsSV c%q}"Y0oh •设置输入场
U@o2gjGN −
基本光源模型[教程视频]
nu\ •使用导入的数据自定义表面轮廓
-_y~rx
> •定义元件的位置和方向
XD_P\z −
LPD II:位置和方向[教程视频]
d[s;a. •正确设置通道以进行非
序列追迹
<7vI h0 −
非序列追迹的通道设置[用例]
ki[;ZmQqY •使用
参数运行检查影响/变化
()+jrrK −
参数运行文档的使用[用例]
x:f|3"\s F'V+2,.
0C7thl{Dms W _PM!>8` VirtualLab Fusion技术
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