摘要
m06ALD_ CitDm1DXt/ 扫描
干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
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K2J \awX K#pNe c 建模任务
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koYHq i[?Vin H^s<{E0< 仿真干涉条纹
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| maXG:l| 走进VirtualLab Fusion
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zmSUw}-4 N vT J}8 VirtualLab Fusion中的工作流程
cVv;Jn YgUvOyaQXf •设置输入场
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基本光源模型[教程视频]
TrLu~4 •使用导入的数据自定义表面轮廓
OH">b6>\ •定义元件的位置和方向
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LPD II：位置和方向[教程视频]
rvnT6Ve •正确设置通道以进行非
序列追迹
]Bjyi[#bg −
非序列追迹的通道设置[用例]
i 7x7xtq •使用
参数运行检查影响/变化
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参数运行文档的使用[用例]
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A?-oL=' M#As0~y VirtualLab Fusion技术
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