摘要
nwfu@h0G lsj9^z7 扫描
干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
k^;/@: :?z@T[-
n.NWS/v_{ l]t^MEoc8 建模任务
nB :i G q2`mu4B !h}Vz 仿真干涉条纹
,+OVRc kt_O= !U2<\!_ 走进VirtualLab Fusion
99'c\[fd' pON#r
?kV_!2U)'K ,+v(?5[6 VirtualLab Fusion中的工作流程
8
ks\-38n1 (NfB+Ue} •设置输入场
iDgc$'%? −
基本光源模型[教程视频]
{`)oxzR •使用导入的数据自定义表面轮廓
#a|r
^%D •定义元件的位置和方向
'ju_l)(R −
LPD II:位置和方向[教程视频]
Unt]=S3u •正确设置通道以进行非
序列追迹
|7Z}#eP// −
非序列追迹的通道设置[用例]
h?4EVOx+ •使用
参数运行检查影响/变化
9Ou}8a?m"
−
参数运行文档的使用[用例]
-cn`D2RP ?/,V{!UTtq
oL>o*/ ?l
@=}WN VirtualLab Fusion技术
zt|1tU: yF|28KJ