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    [技术]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-11-07
    关键词: 干涉仪
    摘要 nwfu@h0G  
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    扫描干涉是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 k^;/@:  
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    建模任务 nB :iG  
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    仿真干涉条纹 ,+OVRc  
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    走进VirtualLab Fusion 99'c\[fd'  
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    VirtualLab Fusion中的工作流程 8 ks\-38n1  
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    •设置输入场 iDgc$'%?  
    基本光源模型[教程视频] {`)o xzR  
    •使用导入的数据自定义表面轮廓 #a|r ^%D  
    •定义元件的位置和方向 'ju_l)(R  
    LPD II:位置和方向[教程视频] Unt]=S3u  
    •正确设置通道以进行非序列追迹 |7Z}#eP//  
    非序列追迹的通道设置[用例] h?4EVOx+  
    •使用参数运行检查影响/变化 9Ou}8a?m"  
    参数运行文档的使用[用例] -cn`D2RP  
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    VirtualLab Fusion技术 zt|1tU:  
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