[技术]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

摘要 $^ \8-k "  
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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 aCu 8 D!  
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建模任务 y be:u  
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仿真干涉条纹 U)Cv_qe  
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VirtualLab Fusion中的工作流程 jV83%%e  
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•设置输入场 ,+0#.Ns$  
−基本光源模型[教程视频] T%{qwZc+mJ  
•使用导入的数据自定义表面轮廓 !j'9>G{T  
•定义元件的位置和方向 11%<bmJ]Q3  
− LPD II：位置和方向[教程视频] ?P<8Zw
 
•正确设置通道以进行非序列追迹 gi26Dtk(h  
−非序列追迹的通道设置[用例] #G'Y2l  
•使用参数运行检查影响/变化 n< npJ*  
−参数运行文档的使用[用例]
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VirtualLab Fusion技术 drr W?U  
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