摘要
N5Rda2m ;\[el<Y)s 扫描
干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
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]x<`( s)<^YASg 建模任务
Am&PH(}L +#IsRiH%> ;DXcEzV 仿真干涉条纹
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+o7Np|Ou @4%a 走进VirtualLab Fusion
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Jfs$VGZP; WP b4L9< VirtualLab Fusion中的工作流程
j4hiMI; Y::I_6[eV •设置输入场
vsU1Lzna6@ −
基本光源模型[教程视频]
gPrIu+|F •使用导入的数据自定义表面轮廓
t:?8I9d •定义元件的位置和方向
bw\a\/Dw −
LPD II:位置和方向[教程视频]
PIxd'B*MF •正确设置通道以进行非
序列追迹
&!E+l<.RF −
非序列追迹的通道设置[用例]
f6d:5
X_
•使用
参数运行检查影响/变化
[EX@I
=? −
参数运行文档的使用[用例]
8ezdU" 6)B6c. 5o
!gm;g}]szG &&\HE7* VirtualLab Fusion技术
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