摘要
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扫描
干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
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J?WT 建模任务
cvR|qHNX .`OyC' <m"yPi3TY 仿真干涉条纹
m/)Wn 0jsU^m<g $q]:m+Fm 走进VirtualLab Fusion
3d^zLL li4rK<O ~N+bD tK3.HvD VirtualLab Fusion中的工作流程
VuDSjh ?8g[0/ •设置输入场
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基本光源模型[教程视频]
)&"l3*x •使用导入的数据自定义表面轮廓
h2 2-vX •定义元件的位置和方向
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LPD II:位置和方向[教程视频]
FnN@W^/z •正确设置通道以进行非
序列追迹
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非序列追迹的通道设置[用例]
}LDH/#
u •使用
参数运行检查影响/变化
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参数运行文档的使用[用例]
(Yz EsY #%4-zNS f?wn;;z` X'4g\)* VirtualLab Fusion技术
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