摘要
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干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
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ay=f1<a wee5Nirw6 建模任务
o7AI qmnW sWgzHj(c 仿真干涉条纹
_^^5 &hzr(v~; 4ug4[ 走进VirtualLab Fusion
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V#+J4 C7Hgzc|U VirtualLab Fusion中的工作流程
Vb~;"WABo PS??wlp7 •设置输入场
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基本光源模型[教程视频]
9cMMkOM J •使用导入的数据自定义表面轮廓
W1Om$S1 •定义元件的位置和方向
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LPD II:位置和方向[教程视频]
H"|oI|~ •正确设置通道以进行非
序列追迹
r / L −
非序列追迹的通道设置[用例]
S,C/l1s •使用
参数运行检查影响/变化
By0Zz −
参数运行文档的使用[用例]
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zZ])G _Tma1~Gq VirtualLab Fusion技术
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