摘要
/Z_ [)PTH ]_xGVwem 扫描
干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
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x)S11 SLA~F?t >ZsK5v 建模任务
$K6`Q4` `;2`H, G' oDI*\S> 仿真干涉条纹
(Sp~+#XnF rGL{g&_ cU[pneY 走进VirtualLab Fusion
e1 }0f8% HW,55#yG kakWXGeR RA67w& VirtualLab Fusion中的工作流程
+mv%z3"j; t^;Fq{> •设置输入场
v!C+W$,T −
基本光源模型[教程视频]
wf$ JuHPt •使用导入的数据自定义表面轮廓
&}=,8Gt1G •定义元件的位置和方向
H hH'\-[t −
LPD II:位置和方向[教程视频]
,R6$SrNcd •正确设置通道以进行非
序列追迹
l(4./M −
非序列追迹的通道设置[用例]
DdBrJ x •使用
参数运行检查影响/变化
[6N39G$ −
参数运行文档的使用[用例]
iiB$<b.((I bvTkSEN `sC8ro@Fm g<3>7&^ VirtualLab Fusion技术
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