[技术]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

摘要 j~;kh_  
*= ;M',nx  
扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 yE{(Ebm  
hT DFIYV  
*;u'W|"/~  
$kD;*v=  
建模任务 ;jZfVRl  
T=~D>2C  
}:zTz%_K  
仿真干涉条纹 +[_mSt  
^f?>;,<&  
y(92Th$  
走进VirtualLab Fusion 8x/]H(J  
'2=$pw  
x(r~<a[  
IMT]!j&Y,  
VirtualLab Fusion中的工作流程 </B<=tc  
qy\Z2k  
•设置输入场 @SX-=Nr  
−基本光源模型[教程视频] XhEJF !  
•使用导入的数据自定义表面轮廓 j8[RDiJ
  
•定义元件的位置和方向 8?z7!k]  
− LPD II：位置和方向[教程视频] ^(c.AYI
 
•正确设置通道以进行非序列追迹 /Y_)dz^@  
−非序列追迹的通道设置[用例] w;=g$Bn  
•使用参数运行检查影响/变化 l'm\*=3  
−参数运行文档的使用[用例] *^=zQ~  
Z6\H4,k&  
_7=LSf,9  
hwj:$mR  
VirtualLab Fusion技术 q:a-tdv2  
*{fL t