[技术]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

摘要 o/ \o-kC}  
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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 Rq(+zL(f  
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建模任务 P/~dY  
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仿真干涉条纹 a&[[@1OY  
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走进VirtualLab Fusion 1:cq\Y  
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VirtualLab Fusion中的工作流程 lKI]q<2  
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•设置输入场 b2F1^]p  
−基本光源模型[教程视频] yF` (GU  
•使用导入的数据自定义表面轮廓 $a\X(okx  
•定义元件的位置和方向 k]& I(VQ"  
− LPD II：位置和方向[教程视频] )CL/%I,^  
•正确设置通道以进行非序列追迹
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−非序列追迹的通道设置[用例] <0`"vPU  
•使用参数运行检查影响/变化 6*ZZ)W<  
−参数运行文档的使用[用例] ?1]B(V9nBq  
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VirtualLab Fusion技术 |@-y+vbA*  
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