[技术]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

摘要 Lt|'("($*  
5}v<?<l9\  
扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 Jw-?7O  

a8Va3Y  
ph5rS<  
<4{Jm8zJ  
建模任务 S8_>Lw  
+c+i~5B4  
S!Z2aFj  
仿真干涉条纹 4 C7z6VWg  
<r`^iR)%  
6 +2M$3_U  
走进VirtualLab Fusion )P|&o%E  
)c; YR}tC  
-9f+O^x  
D=>[~u3H  
VirtualLab Fusion中的工作流程 ;kE
|Vx  
}I )%Gw  
•设置输入场 /RF=8,A  
−基本光源模型[教程视频] v4
$"{W;'  
•使用导入的数据自定义表面轮廓 7k<6oM1  
•定义元件的位置和方向 #?^%#"~4H  
− LPD II：位置和方向[教程视频] .5s#JL  
•正确设置通道以进行非序列追迹 -%
,3qhsd  
−非序列追迹的通道设置[用例] /[<1D|f%  
•使用参数运行检查影响/变化 z\F#td{r  
−参数运行文档的使用[用例] tjId?}\  
' 5F3,/r  
26K sP .-  
B)v|A  
VirtualLab Fusion技术 9$~a&lXO5  
P #PRzt