摘要
I?^Q084 tEpIyC 扫描
干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
kxr6sO~ -D&.)N9ctQ }a #b$]Y F]URf&U 建模任务
w~cq%% b@{%qh,C 60U{ e}Mkb 仿真干涉条纹
+SZ%& {UV<=R,E 4U LJtM3 走进VirtualLab Fusion
t5X G^3X@ 41
c^\1 -@gJqoo> EyKkjEXx_ VirtualLab Fusion中的工作流程
!9e\O5PmO O&rD4# •设置输入场
2m)kyQ −
基本光源模型[教程视频]
lzr>WbM{{p •使用导入的数据自定义表面轮廓
P0`>{!r6@ •定义元件的位置和方向
.Y^d9. −
LPD II:位置和方向[教程视频]
<manv8*6 •正确设置通道以进行非
序列追迹
Sug~FV?k$e −
非序列追迹的通道设置[用例]
m&8U4uHN •使用
参数运行检查影响/变化
f<s'prF −
参数运行文档的使用[用例]
@2%VU#!m #Tg|aW$(* 0?&aV_:;X FgHB1x4; VirtualLab Fusion技术
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