[技术]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

摘要 Fk4T>8q2;  
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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 *mVQN1  
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建模任务 nmN3Z_  
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仿真干涉条纹 T=W;k<P
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走进VirtualLab Fusion b;2[E/JKB  
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VirtualLab Fusion中的工作流程 +N>z|T<  
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•设置输入场 +YFAZv7`  
−基本光源模型[教程视频] E=&":I6O  
•使用导入的数据自定义表面轮廓 .
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•定义元件的位置和方向 $p)e.ZMgE  
− LPD II：位置和方向[教程视频] Sdr,q9+__  
•正确设置通道以进行非序列追迹 j0.E!8Ae{  
−非序列追迹的通道设置[用例] yBYZ?gc  
•使用参数运行检查影响/变化 $ vt6~nfI  
−参数运行文档的使用[用例] C9VtRq  
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VirtualLab Fusion技术 ][V@t^  
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