摘要
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干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
8/=L2fNN[ eb =D/ c\Q7"!e QC9eUYe 建模任务
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wwyPl {\:{[{qF 仿真干涉条纹
K~| 4[\ \Z+z?K O '7iSp= 走进VirtualLab Fusion
}#n;C{z2e }Nf%n@ |v({-*7 Yo|,]X>/ VirtualLab Fusion中的工作流程
mD^jd+ lLF-{ •设置输入场
C,NJb+J −
基本光源模型[教程视频]
C,v(:ZE$J7 •使用导入的数据自定义表面轮廓
/,g ,Ch<d •定义元件的位置和方向
eep1I
:N −
LPD II:位置和方向[教程视频]
5) pj]S!]- •正确设置通道以进行非
序列追迹
]3X@_NYj −
非序列追迹的通道设置[用例]
T Kg aV;92 •使用
参数运行检查影响/变化
Ndi9FD3im −
参数运行文档的使用[用例]
z}*9uZ oz}+T(@O !X;1 } 7G/1VeVjB VirtualLab Fusion技术
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