[技术]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

摘要 de,4Ms!%  
+J <<me4  
扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 Q=#@g  
x?n13C  
8w9?n3z=}  
L /V;;  
建模任务 #s0Wx47~  
Ry"N_Fb  
xM
D]b  
仿真干涉条纹 F~zrg+VDjL  
C>Cb  
DUWSY?^c  
走进VirtualLab Fusion A?ij  
-b'a-?  
FSA"U9 w<  
Bw4 _hlm  
VirtualLab Fusion中的工作流程 ebIRXUF}>  
'I5~<"E  
•设置输入场 C#:L.qK  
−基本光源模型[教程视频] p[:E$#W~;  
•使用导入的数据自定义表面轮廓 ~s-"u *>  
•定义元件的位置和方向 0%;y'd**Ck  
− LPD II：位置和方向[教程视频] k_](u91  
•正确设置通道以进行非序列追迹 fe+2U|y  
−非序列追迹的通道设置[用例] =O'>H](Q  
•使用参数运行检查影响/变化 t+2,;G  
−参数运行文档的使用[用例] dobqYd
4`  
 :qrCqFl  
gYW  
ghDOz 3  
VirtualLab Fusion技术 w/Y6m.i1  
F.@U X
{J