摘要
3DB= Xh 9.( [,J 扫描
干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
>uQjygjj wN/v-^2 /RxqFpu|. q D=b+\F 建模任务
k]RQ 7e 6cbV[ !BL TeR bW 仿真干涉条纹
H_Sv,lwz;c e7&RZ+s#wZ Sz ')1< 走进VirtualLab Fusion
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6aD3?8LN ,pf\ g[tz VirtualLab Fusion中的工作流程
QyZ' %T5J sE|8a •设置输入场
Z.unCf3Q −
基本光源模型[教程视频]
[O!/hppN •使用导入的数据自定义表面轮廓
6U%d3"T •定义元件的位置和方向
5xNOIOpDB −
LPD II：位置和方向[教程视频]
!,5qAGi0 •正确设置通道以进行非
序列追迹
'}(Fj2P79 −
非序列追迹的通道设置[用例]
$-!7<a- •使用
参数运行检查影响/变化
v~ ._]f$: −
参数运行文档的使用[用例]
aYHs 35 ^"vmIC.h :fy,%su VAyAXN~ VirtualLab Fusion技术
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