摘要
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uU9z ;FgEE% 扫描
干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
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uZ2v;]\Y6 &;@b&p+ 建模任务
R0YC:rAt P B6/<n9# 1:;&wf 仿真干涉条纹
EhP&L?EL c9g \7L,Z X $9D0;L 走进VirtualLab Fusion
Ng;b!S O'& \-j 1 
$OFFH[_z ]O9f"cj VirtualLab Fusion中的工作流程
W}e[.iX; RJ@e5A6 _ •设置输入场
RY/ Z~] −
基本光源模型[教程视频]
&A5[C{x •使用导入的数据自定义表面轮廓
h&) vdCCk •定义元件的位置和方向
MTITIecw= −
LPD II：位置和方向[教程视频]
: .w 'gU_ •正确设置通道以进行非
序列追迹
% C E@} −
非序列追迹的通道设置[用例]
f $@". •使用
参数运行检查影响/变化
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参数运行文档的使用[用例]
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1\608~ZH 8s5ru ) VirtualLab Fusion技术
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