[技术]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

摘要 %m dtVQ@  
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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 J)n_u),  
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建模任务 vTx>z\7q,  
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仿真干涉条纹 Ws|`E`6O  
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走进VirtualLab Fusion 8u~  
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VirtualLab Fusion中的工作流程 ;DK%!."%  
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•设置输入场 e^\e;>Dh>  
−基本光源模型[教程视频] (&eF E
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•使用导入的数据自定义表面轮廓 Dj96t5R  
•定义元件的位置和方向 lvWwr!w  
− LPD II：位置和方向[教程视频] L>~Tc  
•正确设置通道以进行非序列追迹 1X5g(B  
−非序列追迹的通道设置[用例] kd^H}k  
•使用参数运行检查影响/变化 1V1I[CxlX  
−参数运行文档的使用[用例] op9dYjG7  
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