[技术]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

摘要 T*k K-
@.i  
\ts:'  
扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 $o/?R]h  
nt "VH5  

图片:1-191209152110491.png

~S"G~a(&j  
Fd5{pM3  
建模任务 &p8K0 |  
Z(/jQ=ozQ  
ReZ|q5*  
仿真干涉条纹 #96E^%:zL  
E^A9u
|x  
>/1.VT\E  
走进VirtualLab Fusion -HZvz[u  
9y.C])(2  

图片:1-191209152K5539.png

ZN%$k-2  
b=K   
VirtualLab Fusion中的工作流程 cQ*:U@  
*ubLuC+b  
•设置输入场 #`y7L4V*o  
−基本光源模型[教程视频] ^tc@bsUF  
•使用导入的数据自定义表面轮廓 g B+cU  
•定义元件的位置和方向 j#-ZL-N  
− LPD II：位置和方向[教程视频] dfc-#I p?  
•正确设置通道以进行非序列追迹 +r4US or  
−非序列追迹的通道设置[用例]
[rqq*_eB  
•使用参数运行检查影响/变化 (zk'i13#6  
−参数运行文档的使用[用例] 9e=F  
jY87NHg  

图片:1-191209152Tb56.png

%J~8a_vO  
S3)JEZi  
VirtualLab Fusion技术 :Gy .P  
{YK6IgEsJe