[技术]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

摘要 ~J>gVg%66  
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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 \btR^;_\A  
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建模任务 vV6Lp  
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仿真干涉条纹 2iPmCG  
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走进VirtualLab Fusion Ur([L&  
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VirtualLab Fusion中的工作流程 xa{<R+LR  
En,)}yI  
•设置输入场 q]N?@l]  
−基本光源模型[教程视频] X(y  
•使用导入的数据自定义表面轮廓 ..q63dr  
•定义元件的位置和方向 cF_;hD|YZ  
− LPD II：位置和方向[教程视频] :Dk@?o@2;C  
•正确设置通道以进行非序列追迹 88#qu.  
−非序列追迹的通道设置[用例] yD[zzEuQ  
•使用参数运行检查影响/变化 ^s2m\Q(  
−参数运行文档的使用[用例] JXL9Gge  
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VirtualLab Fusion技术 5"kx}f2$  
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