[技术]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

摘要 OiDhJ  
5d@t7[]  
扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 l^J75$7  
2&Nb  
'B0{U4?   
%<8nF5  
建模任务 7*DMVok:  
d2s OYCKe  
PCnQ_A-Q  
仿真干涉条纹 {A|TowBN  
j]0^y}5f+s  
7j7e61 Ax  
走进VirtualLab Fusion fri0XxF  
kj5Q\
vr)  
,7,g%?_P
 
5BR5X\f0  
VirtualLab Fusion中的工作流程 ZDL']*)'  
J
N6-Z2  
•设置输入场 }B7K@Wu#  
−基本光源模型[教程视频] *]JdHO  
•使用导入的数据自定义表面轮廓 z=&z_}M8  
•定义元件的位置和方向 eK/?%t  
− LPD II：位置和方向[教程视频] ~8`:7m?  
•正确设置通道以进行非序列追迹 hgRVwX  
−非序列追迹的通道设置[用例] #sKWd  
•使用参数运行检查影响/变化
H(0q6~|  
−参数运行文档的使用[用例] $V6^G*Q  
ea=83 Zj  
#$vRJ#S}U  
0e["]Tlnm  
VirtualLab Fusion技术 o-7>eE}+  
I>h<b_y