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    [分享]Ansys Zemax | 解像力仿真设计 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-11-06
    本节介绍了一个模拟解像力图表的例子。 Y]NSN-t  
    作为一个例子,我们将使用一个等倍率的光学系统,如下图所示: #.it]Nv{  
    M:-.o  
    bu |a0h7e  
    首先,检查该光学系统MTF 9^,Lc1"M>  
    分辨率图是用黑白的二进制图像创建的。 "B =  
    MTF设置如下图所示:解析图使用的是 "方波"。 WX=Jl<  
    \Kl+ 5%L  
    cV 5CaaL  
    ~p1j`r;  
    显示的是短波的MTF。 dls ss\c^M  
    在物体高度为-20毫米时检查20个周期/毫米,表明S图像_50% T图像6%。 1 y-y6q  
    K<pV  
    接下来,对解像力图进行图像模拟。 L!rw[x  
    有两种方法可供选择:  86(I^=  
    LA@w:Fg  
    (1) 局部相干图像分析 K%"5ImM  
    选择分析→扩展光源分析→部分相干图像分析。 Q7R~{5r>W  
    fJ/e(t  
    Q,p}:e  
    CZ(/=3,3n  
    作为一个假设,需要注意的是,MTF是在20周期/毫米时评估的。 0/!dUWdKH  
    在光学行业,一个单色对被算作 "1本"。换句话说,在20周期/毫米时,单色对的宽度是1毫米/20对=0.05毫米。 ? i( %  
    l7W 6qNB  
    在这个模拟中,使用了'LINEPAIR.IMD'文件。 y$@ZN~8  
    该文件包含10行对,有10个0.05毫米的黑白对,所以0.05毫米×10=0.5毫米。 )#.<]&P}  
    那么在图像空间中,文件的一侧长度为0.5毫米。 U4gF(Q  
    hv8P4"i v  
    真正的MTF是通过设置显示方法为X-section来计算的。 lz"OC<D}(  
    6xWe=QGE  
    Fe]B&n  
    MTF计算结果显示在红色框内的区域, 该值为50%。 Ys@}3\Mc  
    pV20oSJNt  
    (2)图像模拟 wW#}:59}  
    这样做的好处是可以在实际图表的图像上进行模拟。 )^4\,u\@  
    许多分辨率图表有多条垂直和水平排列的线。 _C(m<n  
    您也可以创建自己想仿真的图像。 XLAN Np%E  
    例如,对于一个纵向和横向都有三条线的图像文件来说 m\$\ 09  
    我们将在一个文本文件中创建它,如下所示。 !OA]s%u  
    然后,通过将文件扩展名转换为IMA,该文件可以作为图像文件使用。 Q.]}]QE   
    1jN-4&  
    Uc_'(IyO  
    分析→扩展光源分析→图像模拟。 sB^<6W!`(  
    Ys,{8Y,7  
    !eEHmRgg4  
    按照以下参数对仿真进行设置, 5Cq{XcXV  
    PNaay:a|  
    0TGLM#{  
    使用自定义的图像文件作为输入文件。 >p.O0G gg  
    输入0.3作为视场的高度。 Q(<)KZIK  
    输入0.3作为视场的高度。 s<oNE)xe  
    因此,线的宽度是输入0.3的1/12,也就是0.025毫米。 7PANtCFb&  
    对于一对线对,0.025 x 2 = 0.05。 "Qja1TQ  
    仿真的图像如下所示。 6ek;8dL  
    dl ~%MWAVb  
    -[6z 1"*  
    你可以看到两条水平线(切线图像)。 hjIT_{mk  
    这种现象被称为 "伪像"。 xKQ+{"?-^g  
    用FFTMTF检查时,切向图像为15线/毫米,MTF为0。 zipS ]YD  
    然而,此后会有百分之几的对比度复现。 NX|v=  
    在这种情况下,对比度可能存在,但黑白图像可能被颠倒。 B>GE 9y5  
    iMs5zf <M  
    如果在FFTMTF的设置中将类型改为相位,可以发现,在15线/毫米或更多的情况下,相位转为180°。 =$nB/K,8AX  
    Dh5X/y  
    [P 06lIO  
    DdVF,  
    武汉宇熠科技是 ANSYS 全线产品中国区官方指定代理商,提供 Ansys Zemax、Ansys Lumerical、Ansys Speos 等软件产品的培训、销售、技术支持、二次开发、解决方案及这些软件相关全方位定制服务。 Gm(b/qDDe  
    销售热线:027-87878386 SQqD:{#g"  
    咨询邮箱:market@ueotek.com PB#fP_0C  
    6xZ=^;H  
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