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    [分享]Ansys Zemax | 解像力仿真设计 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-11-06
    本节介绍了一个模拟解像力图表的例子。 5K*-)F ]  
    作为一个例子,我们将使用一个等倍率的光学系统,如下图所示: 2tqO%8`_  
    %lU$;cY  
    {XNu4d9w(  
    首先,检查该光学系统MTF ,FPgbs  
    分辨率图是用黑白的二进制图像创建的。 =JnUTc _u  
    MTF设置如下图所示:解析图使用的是 "方波"。 TGz5t$]I  
    S&P5##.u`  
    :I}_  
    AcF;5h  
    显示的是短波的MTF。 J ZQ$*K  
    在物体高度为-20毫米时检查20个周期/毫米,表明S图像_50% T图像6%。 }f6x>  
    ? I}T[j  
    接下来,对解像力图进行图像模拟。 (Rk g  
    有两种方法可供选择: E 2DTE  
    &~Q ?k  
    (1) 局部相干图像分析 +:d))r=n  
    选择分析→扩展光源分析→部分相干图像分析。 .0q %A1H  
    O,[aL;v  
    U9xFQ=$ 2  
    .n`MPx'  
    作为一个假设,需要注意的是,MTF是在20周期/毫米时评估的。 pz^"~0o5  
    在光学行业,一个单色对被算作 "1本"。换句话说,在20周期/毫米时,单色对的宽度是1毫米/20对=0.05毫米。 EQ>bwEG  
    %;PPu$8K9  
    在这个模拟中,使用了'LINEPAIR.IMD'文件。 +* )Qi)  
    该文件包含10行对,有10个0.05毫米的黑白对,所以0.05毫米×10=0.5毫米。 B%9[  
    那么在图像空间中,文件的一侧长度为0.5毫米。 o=_4v ^  
    ? F f w'O  
    真正的MTF是通过设置显示方法为X-section来计算的。 ]IJ.}  
    q#PGcCtu  
    s/Wg^(&M  
    MTF计算结果显示在红色框内的区域, 该值为50%。 D@Fa~O$75  
    =k`(!r2"#  
    (2)图像模拟 N1(}3O  
    这样做的好处是可以在实际图表的图像上进行模拟。 v.v3HB8p  
    许多分辨率图表有多条垂直和水平排列的线。 c uquA ~  
    您也可以创建自己想仿真的图像。 g m],  
    例如,对于一个纵向和横向都有三条线的图像文件来说 M)EUR0>8  
    我们将在一个文本文件中创建它,如下所示。 4aB`wA^x  
    然后,通过将文件扩展名转换为IMA,该文件可以作为图像文件使用。 rsP-?oD8)  
    K"b vUH  
    =fi.*d?$7  
    分析→扩展光源分析→图像模拟。 lLtC9:  
    zAB-kE\ )  
    xyz-T1ib  
    按照以下参数对仿真进行设置, :yk Z7X&  
    6aQ{EO-]'=  
    INzQ0z-z  
    使用自定义的图像文件作为输入文件。 ZLKS4  
    输入0.3作为视场的高度。 #>ci!4Gz=Z  
    输入0.3作为视场的高度。 =4JVUu~Z  
    因此,线的宽度是输入0.3的1/12,也就是0.025毫米。 ?67j+)  
    对于一对线对,0.025 x 2 = 0.05。 %v~j10e  
    仿真的图像如下所示。 x_Ais&Gc  
    iJrscy-  
    oRWsi/Zf  
    你可以看到两条水平线(切线图像)。 TJsT .DWW~  
    这种现象被称为 "伪像"。  V|?  
    用FFTMTF检查时,切向图像为15线/毫米,MTF为0。 5I(` s#O  
    然而,此后会有百分之几的对比度复现。  |Be.r{l  
    在这种情况下,对比度可能存在,但黑白图像可能被颠倒。 _TQt!Re`,  
    ;co{bk|rj  
    如果在FFTMTF的设置中将类型改为相位,可以发现,在15线/毫米或更多的情况下,相位转为180°。 a/)TJv  
    ]P<&CEk  
    &|E2L1  
    [S</QS!  
    武汉宇熠科技是 ANSYS 全线产品中国区官方指定代理商,提供 Ansys Zemax、Ansys Lumerical、Ansys Speos 等软件产品的培训、销售、技术支持、二次开发、解决方案及这些软件相关全方位定制服务。 5-mJj&0:!  
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    Rb#Z\e}e-  
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