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    [分享]Ansys Zemax | 解像力仿真设计 [复制链接]

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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2023-11-06
    本节介绍了一个模拟解像力图表的例子。 m \)B=H!bz  
    作为一个例子,我们将使用一个等倍率的光学系统,如下图所示: dEk#"cvg  
    21v--wZ  
    SMZ*30i  
    首先,检查该光学系统MTF 0S5xmEzop  
    分辨率图是用黑白的二进制图像创建的。 Y(Qb)>K  
    MTF设置如下图所示:解析图使用的是 "方波"。 ')q0VaohC  
    M`&t=0D  
    ClKWf\(ii6  
    A;d@NOI#,K  
    显示的是短波的MTF。 GKoYT{6  
    在物体高度为-20毫米时检查20个周期/毫米,表明S图像_50% T图像6%。 +^BTh rB  
    8w:ay,=  
    接下来,对解像力图进行图像模拟。 ~<_#%R!  
    有两种方法可供选择: cP?GRMX@}  
    li%@HdA!  
    (1) 局部相干图像分析 *O$|,EsY  
    选择分析→扩展光源分析→部分相干图像分析。 je mb/ :E  
    QP'sS*saJ  
    ] 0R*F30]  
    !}6'vq  
    作为一个假设,需要注意的是,MTF是在20周期/毫米时评估的。 @|:fm() <  
    在光学行业,一个单色对被算作 "1本"。换句话说,在20周期/毫米时,单色对的宽度是1毫米/20对=0.05毫米。 E3'I;  
    xo@1((|z  
    在这个模拟中,使用了'LINEPAIR.IMD'文件。 )x!q;^Js9A  
    该文件包含10行对,有10个0.05毫米的黑白对,所以0.05毫米×10=0.5毫米。 5~h )pt47  
    那么在图像空间中,文件的一侧长度为0.5毫米。 v\w*VCjoV  
    11l=zv  
    真正的MTF是通过设置显示方法为X-section来计算的。 ]|3hK/  
    U '{PpZ  
    o+|>D&CW%  
    MTF计算结果显示在红色框内的区域, 该值为50%。 [k 7HLn)  
    q_[y|ETJ]  
    (2)图像模拟 nq_$!aB_K  
    这样做的好处是可以在实际图表的图像上进行模拟。 RJ?)O#}  
    许多分辨率图表有多条垂直和水平排列的线。 Uc!k)o#=  
    您也可以创建自己想仿真的图像。 4S42h_9  
    例如,对于一个纵向和横向都有三条线的图像文件来说 =Z.0-C>W  
    我们将在一个文本文件中创建它,如下所示。 {m U%.5  
    然后,通过将文件扩展名转换为IMA,该文件可以作为图像文件使用。 W7!Rf7TK  
    Py*WHHO  
    eztK`_n  
    分析→扩展光源分析→图像模拟。 Kii@Z5R_?  
    T}!9T!(HdF  
    uT]$R  
    按照以下参数对仿真进行设置, `RY}g;  
    &~eCDlX /  
    ?sHZeWZ(  
    使用自定义的图像文件作为输入文件。 Nd( I RsH(  
    输入0.3作为视场的高度。 IS8 sJ6")  
    输入0.3作为视场的高度。 al#(<4sJ  
    因此,线的宽度是输入0.3的1/12,也就是0.025毫米。 -+){;,  
    对于一对线对,0.025 x 2 = 0.05。 uVgA <*0  
    仿真的图像如下所示。 mZU L}[xf  
    7z$53z  
    EF&CV{Sw  
    你可以看到两条水平线(切线图像)。 >C,0}lj  
    这种现象被称为 "伪像"。 Gw) y<h  
    用FFTMTF检查时,切向图像为15线/毫米,MTF为0。 /[ m7~B]QE  
    然而,此后会有百分之几的对比度复现。 FqJd  
    在这种情况下,对比度可能存在,但黑白图像可能被颠倒。 kVLZdXn,q2  
    t5 >ma:^j  
    如果在FFTMTF的设置中将类型改为相位,可以发现,在15线/毫米或更多的情况下,相位转为180°。 KF&8l/f  
    lfBCzxifC  
    [`tOhL  
    >yc),]1~  
    武汉宇熠科技是 ANSYS 全线产品中国区官方指定代理商,提供 Ansys Zemax、Ansys Lumerical、Ansys Speos 等软件产品的培训、销售、技术支持、二次开发、解决方案及这些软件相关全方位定制服务。 'R1C-U3w,  
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    咨询邮箱:market@ueotek.com D;JZ0."  
    MY{Kq;FvRP  
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