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    [分享]Ansys Zemax | 解像力仿真设计 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-11-06
    本节介绍了一个模拟解像力图表的例子。 w:2yFC  
    作为一个例子,我们将使用一个等倍率的光学系统,如下图所示: U["IXR#  
    }[OEtd{  
    {6iHUK   
    首先,检查该光学系统MTF [ZD`t,x(  
    分辨率图是用黑白的二进制图像创建的。 )2J#pz?.  
    MTF设置如下图所示:解析图使用的是 "方波"。 =Ds&ArG  
    hA+;eXy/  
    !X 0 (4^  
     /UtSZ(  
    显示的是短波的MTF。 qot {#tk d  
    在物体高度为-20毫米时检查20个周期/毫米,表明S图像_50% T图像6%。 Tx(=4ALY  
    Hnf?`j>  
    接下来,对解像力图进行图像模拟。 KJ_L>$ ]*  
    有两种方法可供选择: 0 gr#<(  
    CFeAKjG  
    (1) 局部相干图像分析 $it>*%  
    选择分析→扩展光源分析→部分相干图像分析。 #!4`t]E<  
    e r"gPW  
    QY$4D;M`g6  
    MT<3OKo?:  
    作为一个假设,需要注意的是,MTF是在20周期/毫米时评估的。 Hr/J6kyB)  
    在光学行业,一个单色对被算作 "1本"。换句话说,在20周期/毫米时,单色对的宽度是1毫米/20对=0.05毫米。 mWuhXY^Q  
    'h 7n}  
    在这个模拟中,使用了'LINEPAIR.IMD'文件。 f0g&=k{OD  
    该文件包含10行对,有10个0.05毫米的黑白对,所以0.05毫米×10=0.5毫米。 6e;8\1^  
    那么在图像空间中,文件的一侧长度为0.5毫米。 ]o`FF="at  
    #Q%0y^s  
    真正的MTF是通过设置显示方法为X-section来计算的。 CN7qqd  
    g$mqAz<  
    z_a7HCG2  
    MTF计算结果显示在红色框内的区域, 该值为50%。 8TO5j  
    Q]-r'pYr  
    (2)图像模拟 `(8RK  
    这样做的好处是可以在实际图表的图像上进行模拟。 !De U8.%  
    许多分辨率图表有多条垂直和水平排列的线。 >|JMvbje  
    您也可以创建自己想仿真的图像。 7/BA!V(na  
    例如,对于一个纵向和横向都有三条线的图像文件来说 >IHf5})R  
    我们将在一个文本文件中创建它,如下所示。 VqeW;8&*iv  
    然后,通过将文件扩展名转换为IMA,该文件可以作为图像文件使用。 g")pvK[e  
    Do;rY\sY  
    &XSe&1  
    分析→扩展光源分析→图像模拟。 [q!)Y:|u_>  
    M:w]g`LKl  
    Cv qUaHW@  
    按照以下参数对仿真进行设置, \>4x7mF!  
    iD2>-yf  
    zuvP\Y=V`  
    使用自定义的图像文件作为输入文件。 dNz!2mbO  
    输入0.3作为视场的高度。 "`5BAv;u  
    输入0.3作为视场的高度。 V _pKe~  
    因此,线的宽度是输入0.3的1/12,也就是0.025毫米。 VB{G% !}  
    对于一对线对,0.025 x 2 = 0.05。 BO;LK-V  
    仿真的图像如下所示。 DJHE6XJ   
    !_h<w?)  
    YQ5d!a.  
    你可以看到两条水平线(切线图像)。 sg,9{R ^  
    这种现象被称为 "伪像"。 S;S_<GX  
    用FFTMTF检查时,切向图像为15线/毫米,MTF为0。 U6oab9C?k  
    然而,此后会有百分之几的对比度复现。 6Q9S~YYq  
    在这种情况下,对比度可能存在,但黑白图像可能被颠倒。 j(\jYH>   
    ~kPZh1n`  
    如果在FFTMTF的设置中将类型改为相位,可以发现,在15线/毫米或更多的情况下,相位转为180°。 ;EfREfk  
    w~VqdB  
    _xU2C<)1&  
    sTO9>~sj  
    武汉宇熠科技是 ANSYS 全线产品中国区官方指定代理商,提供 Ansys Zemax、Ansys Lumerical、Ansys Speos 等软件产品的培训、销售、技术支持、二次开发、解决方案及这些软件相关全方位定制服务。 *5;#+%A  
    销售热线:027-87878386 uJ/ &!q<3  
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    `Yc>I!iN  
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