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    [分享]Ansys Zemax | 解像力仿真设计 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-11-06
    本节介绍了一个模拟解像力图表的例子。 PK7 kpC  
    作为一个例子,我们将使用一个等倍率的光学系统,如下图所示: &@anv.D  
    %.+#e  
    9X6l`bo'  
    首先,检查该光学系统MTF AyUiX2=w1  
    分辨率图是用黑白的二进制图像创建的。 #Z.2g].  
    MTF设置如下图所示:解析图使用的是 "方波"。 Rh.CnCbM  
    j/+e5.EX/  
    |rg4 j  
    (iw)C)t*u  
    显示的是短波的MTF。 1__Mf.A  
    在物体高度为-20毫米时检查20个周期/毫米,表明S图像_50% T图像6%。 uh_ 2yw_  
    GDUOUl&  
    接下来,对解像力图进行图像模拟。 j/<z[qr  
    有两种方法可供选择: t@1 bu$y  
    /y<nAGtD&  
    (1) 局部相干图像分析 0p;pTc  
    选择分析→扩展光源分析→部分相干图像分析。 s wIJmA  
    '&#YaD=""  
    Xzp!X({   
    I/ q>c2Pw$  
    作为一个假设,需要注意的是,MTF是在20周期/毫米时评估的。 <.lT.>'?  
    在光学行业,一个单色对被算作 "1本"。换句话说,在20周期/毫米时,单色对的宽度是1毫米/20对=0.05毫米。 ' 3MCb  
    ao(lj  
    在这个模拟中,使用了'LINEPAIR.IMD'文件。 V<+= t{  
    该文件包含10行对,有10个0.05毫米的黑白对,所以0.05毫米×10=0.5毫米。 ZC\&n4~7  
    那么在图像空间中,文件的一侧长度为0.5毫米。 ;[~:Y[N  
    o : t z_5  
    真正的MTF是通过设置显示方法为X-section来计算的。 HI}9 "(t}  
    h *JzJ0X  
    vS$_H<;P  
    MTF计算结果显示在红色框内的区域, 该值为50%。 2UF ,W]  
    rL=_z^.P  
    (2)图像模拟 kA1C&  
    这样做的好处是可以在实际图表的图像上进行模拟。 +"Ui @^  
    许多分辨率图表有多条垂直和水平排列的线。 S)h0@;q  
    您也可以创建自己想仿真的图像。 aN/0'V|&ym  
    例如,对于一个纵向和横向都有三条线的图像文件来说 >){"x(4`  
    我们将在一个文本文件中创建它,如下所示。 Zoi\r  
    然后,通过将文件扩展名转换为IMA,该文件可以作为图像文件使用。 10 D6fkjf  
    Fu%%:3_  
    \~#$$Q-qtU  
    分析→扩展光源分析→图像模拟。 U0Y;*_>4  
    8.'[>VzBL  
    v_$'!i$  
    按照以下参数对仿真进行设置, Vif0z*\e{  
    L =kc^dU  
    TL?(0]H fe  
    使用自定义的图像文件作为输入文件。 mx'!I7b(L/  
    输入0.3作为视场的高度。 N4wv'OrL]  
    输入0.3作为视场的高度。 8<VO>WA>E  
    因此,线的宽度是输入0.3的1/12,也就是0.025毫米。  GT)63|  
    对于一对线对,0.025 x 2 = 0.05。 ?1G7=R  
    仿真的图像如下所示。 EM.7,;|N  
    H*Tc.Ie  
    b& l/)DU  
    你可以看到两条水平线(切线图像)。 opKk#40  
    这种现象被称为 "伪像"。 R6N+c\W  
    用FFTMTF检查时,切向图像为15线/毫米,MTF为0。 +@QN)ZwVy  
    然而,此后会有百分之几的对比度复现。 `a!:-.:v  
    在这种情况下,对比度可能存在,但黑白图像可能被颠倒。 %L\buwjy$  
    dHtbl\6  
    如果在FFTMTF的设置中将类型改为相位,可以发现,在15线/毫米或更多的情况下,相位转为180°。 g@<E0 q&`$  
    =deqj^&@  
    sU/R$Nbr  
    i"h '^6M1  
    武汉宇熠科技是 ANSYS 全线产品中国区官方指定代理商,提供 Ansys Zemax、Ansys Lumerical、Ansys Speos 等软件产品的培训、销售、技术支持、二次开发、解决方案及这些软件相关全方位定制服务。 (61_=,jv\h  
    销售热线:027-87878386 0x-58i0  
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    Oh\ +cvbG  
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