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    [分享]Ansys Zemax | 解像力仿真设计 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-11-06
    本节介绍了一个模拟解像力图表的例子。 xxA^A  
    作为一个例子,我们将使用一个等倍率的光学系统,如下图所示: Z<,Hz+  
    $gZiW8  
    FmSE ]et  
    首先,检查该光学系统MTF  \>||  
    分辨率图是用黑白的二进制图像创建的。 y?U@F/^}N  
    MTF设置如下图所示:解析图使用的是 "方波"。 ae" o|Q  
    29cx(  
    L7R!,  
    sDAP'&  
    显示的是短波的MTF。 -fp/3-  
    在物体高度为-20毫米时检查20个周期/毫米,表明S图像_50% T图像6%。 z/fSs tN  
    \Foo:jON  
    接下来,对解像力图进行图像模拟。 ESUO I  
    有两种方法可供选择: 6\k~q.U@XI  
    uIBN !\j  
    (1) 局部相干图像分析 [5tvdW6Z &  
    选择分析→扩展光源分析→部分相干图像分析。 ;YSe:m*  
    _]-8gr-T  
    HJBGxy w  
    Kp^"<%RT  
    作为一个假设,需要注意的是,MTF是在20周期/毫米时评估的。 41P0)o  
    在光学行业,一个单色对被算作 "1本"。换句话说,在20周期/毫米时,单色对的宽度是1毫米/20对=0.05毫米。 Kwi+}B!  
    ',/#|  
    在这个模拟中,使用了'LINEPAIR.IMD'文件。 9MH;=88q  
    该文件包含10行对,有10个0.05毫米的黑白对,所以0.05毫米×10=0.5毫米。 aRElk&M  
    那么在图像空间中,文件的一侧长度为0.5毫米。 eK5~YM:o  
    :s \zk^h?  
    真正的MTF是通过设置显示方法为X-section来计算的。 -}PE(c1%?q  
    Bh'!aipk  
    ]=9 d'WL  
    MTF计算结果显示在红色框内的区域, 该值为50%。 :!hO9ho  
    TQb@szp:|  
    (2)图像模拟 pU'${Z~b  
    这样做的好处是可以在实际图表的图像上进行模拟。 W?"l6s  
    许多分辨率图表有多条垂直和水平排列的线。 P&=YLL<W  
    您也可以创建自己想仿真的图像。 bDudETl  
    例如,对于一个纵向和横向都有三条线的图像文件来说 3Gr"YG{,  
    我们将在一个文本文件中创建它,如下所示。 0U:X[2|)  
    然后,通过将文件扩展名转换为IMA,该文件可以作为图像文件使用。 [oXSjLQm[  
    `e fiX^  
    !3iZa*  
    分析→扩展光源分析→图像模拟。 fj/L)i  
    k`&FyN^)  
    *JfGGI_E  
    按照以下参数对仿真进行设置, $gN\%X/n"1  
    kvuRT`/  
    :y`LF <  
    使用自定义的图像文件作为输入文件。 @$!6u0x  
    输入0.3作为视场的高度。 ]uF7HX7F  
    输入0.3作为视场的高度。 <T;V9(66  
    因此,线的宽度是输入0.3的1/12,也就是0.025毫米。 y10W\beJ  
    对于一对线对,0.025 x 2 = 0.05。 `"PHhCG+z  
    仿真的图像如下所示。 ~JNE]mg  
    M$.bC0}T  
    ](v,2(}=  
    你可以看到两条水平线(切线图像)。 lNf);!}SM  
    这种现象被称为 "伪像"。 jSM`bE+"  
    用FFTMTF检查时,切向图像为15线/毫米,MTF为0。 Ly3!0P.<  
    然而,此后会有百分之几的对比度复现。 !.^x^OK%y  
    在这种情况下,对比度可能存在,但黑白图像可能被颠倒。 mtkZF{3Jx  
    "U"fsAc#  
    如果在FFTMTF的设置中将类型改为相位,可以发现,在15线/毫米或更多的情况下,相位转为180°。 -s!J3DB  
    3 !8#wn  
    .>}I/+n  
    Z.!<YfA)  
    武汉宇熠科技是 ANSYS 全线产品中国区官方指定代理商,提供 Ansys Zemax、Ansys Lumerical、Ansys Speos 等软件产品的培训、销售、技术支持、二次开发、解决方案及这些软件相关全方位定制服务。 }!k?.(hpE  
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    X Db%-  
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