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    [分享]Ansys Zemax | 解像力仿真设计 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-11-06
    本节介绍了一个模拟解像力图表的例子。 E;4B!"Q8  
    作为一个例子,我们将使用一个等倍率的光学系统,如下图所示: "%+||IyW  
    XUh&an$  
    Ye4 &4t  
    首先,检查该光学系统MTF .sQV0jF{  
    分辨率图是用黑白的二进制图像创建的。 Z:,\FB_U  
    MTF设置如下图所示:解析图使用的是 "方波"。 #:yAi_Ct  
    lH`c&LL-=!  
    ;`c:Law4  
    @HB=h N  
    显示的是短波的MTF。 ewN|">WXQ  
    在物体高度为-20毫米时检查20个周期/毫米,表明S图像_50% T图像6%。 ^_3 $f  
    m*HUT V  
    接下来,对解像力图进行图像模拟。 FZ<6kk4  
    有两种方法可供选择: Q.7X3A8  
    ~N; dX[@BT  
    (1) 局部相干图像分析 *y|w9 r p  
    选择分析→扩展光源分析→部分相干图像分析。 F=5vA v1  
    tj0 0xYY  
    9}2/ko  
    *c/|/  
    作为一个假设,需要注意的是,MTF是在20周期/毫米时评估的。 ]e5aHpgR=  
    在光学行业,一个单色对被算作 "1本"。换句话说,在20周期/毫米时,单色对的宽度是1毫米/20对=0.05毫米。 .Jg<H %%f  
    s/~pr.>-l  
    在这个模拟中,使用了'LINEPAIR.IMD'文件。 <3tf(?*,k]  
    该文件包含10行对,有10个0.05毫米的黑白对,所以0.05毫米×10=0.5毫米。 /Us+>vg!  
    那么在图像空间中,文件的一侧长度为0.5毫米。 :.l\lj0Yf  
    >wb*kyO7(#  
    真正的MTF是通过设置显示方法为X-section来计算的。 il{x?#Wrb  
    rfQs 7S;G  
    ,K6ODtw.  
    MTF计算结果显示在红色框内的区域, 该值为50%。 Zn. S65J*u  
    NcwUK\  
    (2)图像模拟 2,B^OZmw  
    这样做的好处是可以在实际图表的图像上进行模拟。 2uY:p=DxG9  
    许多分辨率图表有多条垂直和水平排列的线。 w^HI lA  
    您也可以创建自己想仿真的图像。 1 YtY=  
    例如,对于一个纵向和横向都有三条线的图像文件来说 &1=,?s]&  
    我们将在一个文本文件中创建它,如下所示。 xOg|<Nnl  
    然后,通过将文件扩展名转换为IMA,该文件可以作为图像文件使用。 gMq;  
    ~e,K  
    V_v+i c^  
    分析→扩展光源分析→图像模拟。 F$JA IL{W  
    s/E9$*0  
    h<?I?ZR0$  
    按照以下参数对仿真进行设置, Ue,eEer  
    m|+zMf&  
    GO][`zZJ]  
    使用自定义的图像文件作为输入文件。 {/?{UbU  
    输入0.3作为视场的高度。 p>pAU$k{O  
    输入0.3作为视场的高度。 JPT&!%~  
    因此,线的宽度是输入0.3的1/12,也就是0.025毫米。 M_75bU  
    对于一对线对,0.025 x 2 = 0.05。 z=jzr=lP  
    仿真的图像如下所示。 U;.cXU{  
    c(?OE' "Z  
    2e ~RM2PQ  
    你可以看到两条水平线(切线图像)。 98<^!mwF  
    这种现象被称为 "伪像"。 _Bn8i(  
    用FFTMTF检查时,切向图像为15线/毫米,MTF为0。 D,-L!P  
    然而,此后会有百分之几的对比度复现。 *x 2u  
    在这种情况下,对比度可能存在,但黑白图像可能被颠倒。 \4 t;{_  
    >i61+uzEd+  
    如果在FFTMTF的设置中将类型改为相位,可以发现,在15线/毫米或更多的情况下,相位转为180°。 FEa%wS{  
    lu1T+@t  
    Wk-. dJ  
    T~}g{q,tR  
    武汉宇熠科技是 ANSYS 全线产品中国区官方指定代理商,提供 Ansys Zemax、Ansys Lumerical、Ansys Speos 等软件产品的培训、销售、技术支持、二次开发、解决方案及这些软件相关全方位定制服务。 aM8z_j!!u  
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    咨询邮箱:market@ueotek.com J(XK%e[8  
    mn{R>  
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