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    [分享]Ansys Zemax | 解像力仿真设计 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-11-06
    本节介绍了一个模拟解像力图表的例子。 bk@F/KqL  
    作为一个例子,我们将使用一个等倍率的光学系统,如下图所示: b~khb!]  
    "XWrd [Df  
    sLGut7@Sg  
    首先,检查该光学系统MTF +Ar=89  
    分辨率图是用黑白的二进制图像创建的。 l.r i ]e  
    MTF设置如下图所示:解析图使用的是 "方波"。 F;Q8^C0e*c  
    -^m]Tb<u  
    nE!h&}(  
    >[]@Df,p  
    显示的是短波的MTF。 ,J|8P{ZO  
    在物体高度为-20毫米时检查20个周期/毫米,表明S图像_50% T图像6%。 86c@Kk7z  
    1l$c*STK  
    接下来,对解像力图进行图像模拟。 s2-`}LL  
    有两种方法可供选择: [whX),3>  
    (^fiw%#  
    (1) 局部相干图像分析 Ww9%6 #i t  
    选择分析→扩展光源分析→部分相干图像分析。 `GsFvxz  
    EV}c,*);y  
    J?d&+mt  
    F ] e]  
    作为一个假设,需要注意的是,MTF是在20周期/毫米时评估的。 | |=q"h3(  
    在光学行业,一个单色对被算作 "1本"。换句话说,在20周期/毫米时,单色对的宽度是1毫米/20对=0.05毫米。 x7qVLpcL3z  
    ;A ~efC^<  
    在这个模拟中,使用了'LINEPAIR.IMD'文件。 |{ E\ 2U  
    该文件包含10行对,有10个0.05毫米的黑白对,所以0.05毫米×10=0.5毫米。 M_wqb'=  
    那么在图像空间中,文件的一侧长度为0.5毫米。 dg9 DBn#  
    E1(2wJ-3"  
    真正的MTF是通过设置显示方法为X-section来计算的。 ;Kq/[$~0  
    ,G,'#]  
    %:bTOw[4r  
    MTF计算结果显示在红色框内的区域, 该值为50%。 NA5AR*f'  
    V=)0{7-9  
    (2)图像模拟 %d<uOCf\Q  
    这样做的好处是可以在实际图表的图像上进行模拟。 '~2S BX?J  
    许多分辨率图表有多条垂直和水平排列的线。 zmV5k  
    您也可以创建自己想仿真的图像。 0'Kbh$LU  
    例如,对于一个纵向和横向都有三条线的图像文件来说 =YZyH4eI  
    我们将在一个文本文件中创建它,如下所示。 Jx# r  
    然后,通过将文件扩展名转换为IMA,该文件可以作为图像文件使用。 [X +E  
    ?&Zfb  
    qJY'"_Q{  
    分析→扩展光源分析→图像模拟。 Lq#>N_72W0  
     3z^l  
    ?]i.Zi\[f  
    按照以下参数对仿真进行设置, JZQT}  
    ]JQ';%dne  
    mez )G|  
    使用自定义的图像文件作为输入文件。 RQzcsO  
    输入0.3作为视场的高度。 n9.` 5BH7/  
    输入0.3作为视场的高度。 K)m\xzT/  
    因此,线的宽度是输入0.3的1/12,也就是0.025毫米。 K!|%mI8gk  
    对于一对线对,0.025 x 2 = 0.05。 a<-'4D/  
    仿真的图像如下所示。 [i7Ug.Oi"  
    9cJzL"yi  
    +b<q4W  
    你可以看到两条水平线(切线图像)。 ghXh nxG  
    这种现象被称为 "伪像"。 j7&57'  
    用FFTMTF检查时,切向图像为15线/毫米,MTF为0。 o.qeF4\d6  
    然而,此后会有百分之几的对比度复现。 Z:Hk'|q}I  
    在这种情况下,对比度可能存在,但黑白图像可能被颠倒。 iHKWz)0  
    SiN22k+  
    如果在FFTMTF的设置中将类型改为相位,可以发现,在15线/毫米或更多的情况下,相位转为180°。 /RLeD  
    Q+d9D1b  
    cN/8 b0C  
    3GkVMYI  
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    577H{;pW  
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