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    [分享]Ansys Zemax | 解像力仿真设计 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-11-06
    本节介绍了一个模拟解像力图表的例子。 wdN>KS2!  
    作为一个例子,我们将使用一个等倍率的光学系统,如下图所示: M6o xtt4  
    (9WL+S  
    _RA{SO  
    首先,检查该光学系统MTF gNMKGf\Y  
    分辨率图是用黑白的二进制图像创建的。 :8\*)"^E  
    MTF设置如下图所示:解析图使用的是 "方波"。 !3b|*].B  
    TsFV ;Sl3  
    Qd&d\w/  
    Q{ |+ 3!!'  
    显示的是短波的MTF。 CWobvR)e  
    在物体高度为-20毫米时检查20个周期/毫米,表明S图像_50% T图像6%。 6Y92&  
    7$Z)fkx.  
    接下来,对解像力图进行图像模拟。 iZDb.9@&t  
    有两种方法可供选择: sp=7Kh?|>  
    '/gxjr&  
    (1) 局部相干图像分析 &CxyP_  
    选择分析→扩展光源分析→部分相干图像分析。 14@q$}sf  
    ^^t]vojX  
    Eb4< 26A  
    lu G023'  
    作为一个假设,需要注意的是,MTF是在20周期/毫米时评估的。 n##w[7B*  
    在光学行业,一个单色对被算作 "1本"。换句话说,在20周期/毫米时,单色对的宽度是1毫米/20对=0.05毫米。 oJ4mxi@|#  
    ZPxOds1m  
    在这个模拟中,使用了'LINEPAIR.IMD'文件。 ^Yf)lV&[  
    该文件包含10行对,有10个0.05毫米的黑白对,所以0.05毫米×10=0.5毫米。 U:etcnb4w>  
    那么在图像空间中,文件的一侧长度为0.5毫米。 ]`CKQ> o  
    eJVOVPg<,  
    真正的MTF是通过设置显示方法为X-section来计算的。 n41\y:CAo  
    |RvpEy7 6  
    >gS5[`xRE  
    MTF计算结果显示在红色框内的区域, 该值为50%。 ]VHdE_7)  
    +i q+  
    (2)图像模拟 |+$j( YuH  
    这样做的好处是可以在实际图表的图像上进行模拟。 ~3*ZG  
    许多分辨率图表有多条垂直和水平排列的线。 am$-sh72  
    您也可以创建自己想仿真的图像。 ~YT>:Np  
    例如,对于一个纵向和横向都有三条线的图像文件来说 &a2V-|G',  
    我们将在一个文本文件中创建它,如下所示。 ,pGCgOG#}c  
    然后,通过将文件扩展名转换为IMA,该文件可以作为图像文件使用。 )n3bi QL_  
    fDm}J  
    RL]lt0O{  
    分析→扩展光源分析→图像模拟。 ?Ss RN jeL  
    ]mJAKycE%  
    zvQ^f@lq2  
    按照以下参数对仿真进行设置, 40l#'< y;  
    |]2eGrGj4  
    sP8-gkkor  
    使用自定义的图像文件作为输入文件。 V;(*\"O  
    输入0.3作为视场的高度。 ,{mf+ 3&$,  
    输入0.3作为视场的高度。 7]HIE]#  
    因此,线的宽度是输入0.3的1/12,也就是0.025毫米。 DT7-v4Zd  
    对于一对线对,0.025 x 2 = 0.05。 ?`[ uh%  
    仿真的图像如下所示。 R^Eu}?<f  
    ,[K)E  
    !\D] \|Bo  
    你可以看到两条水平线(切线图像)。 Pi]s<3PL  
    这种现象被称为 "伪像"。 {$QF*j  
    用FFTMTF检查时,切向图像为15线/毫米,MTF为0。 IG3K Pmu  
    然而,此后会有百分之几的对比度复现。 % &Q7;?  
    在这种情况下,对比度可能存在,但黑白图像可能被颠倒。 2M( PH]D  
    VkP:%-*#v  
    如果在FFTMTF的设置中将类型改为相位,可以发现,在15线/毫米或更多的情况下,相位转为180°。 C6=;(=?C  
    krnk%ug  
    !^"!fuoNC  
    U*+!w@ .  
    武汉宇熠科技是 ANSYS 全线产品中国区官方指定代理商,提供 Ansys Zemax、Ansys Lumerical、Ansys Speos 等软件产品的培训、销售、技术支持、二次开发、解决方案及这些软件相关全方位定制服务。 DGuUI}|)  
    销售热线:027-87878386 F# 37Qv  
    咨询邮箱:market@ueotek.com m LxwJ  
    `))J8j"  
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