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    [分享]Ansys Zemax | 解像力仿真设计 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-11-06
    本节介绍了一个模拟解像力图表的例子。 ?}>tfDu'  
    作为一个例子,我们将使用一个等倍率的光学系统,如下图所示: ~-/AKaK}  
    aXagiz\;  
    |IvX7%*]~  
    首先,检查该光学系统MTF I j /J  
    分辨率图是用黑白的二进制图像创建的。 </QSMs  
    MTF设置如下图所示:解析图使用的是 "方波"。 we9AB_y  
    zqkmsFH{  
    K]l) z* I  
    yS""*8/  
    显示的是短波的MTF。 n9^zAcUbAW  
    在物体高度为-20毫米时检查20个周期/毫米,表明S图像_50% T图像6%。 \q>,c49a{  
    qz&)|~,\C  
    接下来,对解像力图进行图像模拟。 pifgt  
    有两种方法可供选择: 5{> cfN\q  
    P}jr 8Z  
    (1) 局部相干图像分析 5cU8GgN`  
    选择分析→扩展光源分析→部分相干图像分析。 P$bo8*  
    :`K;0`C +  
    ^BZdR<;  
    8 _J:Yg  
    作为一个假设,需要注意的是,MTF是在20周期/毫米时评估的。 21qhlkdc  
    在光学行业,一个单色对被算作 "1本"。换句话说,在20周期/毫米时,单色对的宽度是1毫米/20对=0.05毫米。 ]nh)FMo  
    ;z68`P-  
    在这个模拟中,使用了'LINEPAIR.IMD'文件。 ]2jnY&a5  
    该文件包含10行对,有10个0.05毫米的黑白对,所以0.05毫米×10=0.5毫米。 79v&6Io  
    那么在图像空间中,文件的一侧长度为0.5毫米。 [g? NU]  
    w#XJ!f6*_9  
    真正的MTF是通过设置显示方法为X-section来计算的。 VWi-)  
    ` T!O )5  
    `xSXGI  
    MTF计算结果显示在红色框内的区域, 该值为50%。 O_ c K 4  
    "Xqj%\  
    (2)图像模拟 !v-(O"a  
    这样做的好处是可以在实际图表的图像上进行模拟。 ]:;gk&P  
    许多分辨率图表有多条垂直和水平排列的线。 QS_u<B  
    您也可以创建自己想仿真的图像。 - M]C-$  
    例如,对于一个纵向和横向都有三条线的图像文件来说 ?6Gq &  
    我们将在一个文本文件中创建它,如下所示。 seq$]  
    然后,通过将文件扩展名转换为IMA,该文件可以作为图像文件使用。 >nxtQ  
    c1`o3gb  
    F2&KTK  
    分析→扩展光源分析→图像模拟。 }\W3a_,v)  
    p82qFzq#  
    iAN#TCwLT7  
    按照以下参数对仿真进行设置, K"#}R<k8:A  
    D"MNlm  
    Ah,Zm4:  
    使用自定义的图像文件作为输入文件。 7Q`4*H6  
    输入0.3作为视场的高度。 .f}I$ "2  
    输入0.3作为视场的高度。 ?@nu]~  
    因此,线的宽度是输入0.3的1/12,也就是0.025毫米。 cH#` f4  
    对于一对线对,0.025 x 2 = 0.05。 [# _ceg1G  
    仿真的图像如下所示。 0V^?~ex  
    Y4_i=}\*vf  
    g%Z;rDfi  
    你可以看到两条水平线(切线图像)。 vq{:=:5'P  
    这种现象被称为 "伪像"。 ZA!vxQ?P,  
    用FFTMTF检查时,切向图像为15线/毫米,MTF为0。 tFGLqR%/  
    然而,此后会有百分之几的对比度复现。 A1|:$tED+2  
    在这种情况下,对比度可能存在,但黑白图像可能被颠倒。 * .e^s3q$  
    Y/ `fPgE  
    如果在FFTMTF的设置中将类型改为相位,可以发现,在15线/毫米或更多的情况下,相位转为180°。 lBCM; #P  
    olqHa5qn  
    7 MfpZgC  
     -x7L8Wj  
    武汉宇熠科技是 ANSYS 全线产品中国区官方指定代理商,提供 Ansys Zemax、Ansys Lumerical、Ansys Speos 等软件产品的培训、销售、技术支持、二次开发、解决方案及这些软件相关全方位定制服务。 +,smjg:O  
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    GB -=DC6  
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