[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 ;ATn&  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 K,$Ro@!  
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建模任务 zG|#__=T  
fl4z'8P"(  

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x,+2k6Wn!  
dB=aq34l  
模拟&设置：单平台互操作性 xc&&UKd  
建模技术的单平台互操作性 _P:}]5-|  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 j@98UZ{g\  
G(*7hs  

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 平面波光源 #K4lnC2qz  
 微透镜阵列 T 8. to
 
 彩色滤光片(吸收介质) .Jvy0B} B  
 通过基底传播 5TB==Fj ?  
 探测 -!s?d5k")  
pAY[XN  
连接建模技术：微透镜 UD+r{s/%  
$.g)%#h:  

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M#5*gWfq9  
`Cv@16  
连接建模技术：彩色滤光片 tnn,lWu|  
_-mJI+^/  

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sZ7RiH+I  
连接建模技术：可编程介质 $YPQi.  
Wb7z&vj  

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Nm;V9*5  
连接建模技术：自由空间传播 :VvJx]  
AgU 7U/yk  

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<8?jn*$;\  
6tDCaB  
连接建模技术：堆栈 ss4<s 5:y  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 c9<&+  
xtN=?WjVe0  

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q@6Je(H  
4hLv"R.  
 微透镜阵列 D,<#pNO_  
 彩色滤光片(吸收介质) k@RIM(^t  
 通过基底传播 ywl7bU-f  
 探测 $mF(6<w  
1oVjx_I5y  
元件内场分析器：FMM z!0}Kj  
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$At,D.mGkb  
1(ud(8?|  
模拟结果 6Y-sc*5  
#2U4}#Mi  
像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) ud@7%%  
<zdo%~ba  

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Z7@~#)3  
J ;e/S6l  
像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) L3 VyW8Y  
puPYM"  

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8g!C'5  
|AS`MsbI9  
像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) (!iGQj(m  
G1`H H&  

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F,l%SQCyj  
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3D仿真与结果比较 ~l@-g
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3D仿真与结果比较 *\5o0~~8J  
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