[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 s '?GH  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 U__(; /1;  
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建模任务 _:`!DIz~9}  
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模拟&设置：单平台互操作性 AeuX Qt  
建模技术的单平台互操作性 WO<
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在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 bEV<iZDq%  
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 平面波光源 J;$N{"M  
 微透镜阵列 r\`+R"  
 彩色滤光片(吸收介质) 1w(JEqY3h:  
 通过基底传播 P u0uKE  
 探测 }!>=|1fY  
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连接建模技术：微透镜 nqVZqX@oE  
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连接建模技术：彩色滤光片 8qEK+yi,  
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连接建模技术：可编程介质 dq1:s1  
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连接建模技术：自由空间传播 &sXRN&Fp  
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D}C,![   
连接建模技术：堆栈 ^YdcAHjK  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 )vg5((C  
P|tNL}2`;  
R"MRnr_4K  
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 微透镜阵列 :u8
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 彩色滤光片(吸收介质) 0Uk@\[1ox  
 通过基底传播 SUKxkc(  
 探测 4MuO1W-  
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元件内场分析器：FMM !+)AeDc:j  
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模拟结果 #GDe08rOw  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) ZQ^r`W9_+  
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zA+~7;7E  
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) .h&k jD  

V7G7&'  
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HHX-1+L  
像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) Y)N-V ]5L  
5zFR7/p{  
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3D仿真与结果比较 #P]#9Ty:  
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3D仿真与结果比较 7\*FEjRM]  
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