[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 9C}aX}`  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 ;K\N  
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建模任务 ^[}0&_L w  
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模拟&设置：单平台互操作性 ?h)3S7  
建模技术的单平台互操作性 R``VQ  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。
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 平面波光源 uxC   
 微透镜阵列 ccn
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 彩色滤光片(吸收介质) ;5Vk01R  
 通过基底传播 f:[d]J|  
 探测 Dg>'5`&  
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连接建模技术：微透镜 y|;8:b32  
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连接建模技术：彩色滤光片 cxD}t'T  
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连接建模技术：可编程介质 [pW1=tI  
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连接建模技术：自由空间传播 Sz|Y$,  
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连接建模技术：堆栈 *]m kyAhi  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 "6E1W,|{  
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 微透镜阵列 9xK4!~5V  
 彩色滤光片(吸收介质) mI7rx`4H  
 通过基底传播 Fp5NRM*-!  
 探测 Q"OV>klk  
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元件内场分析器：FMM x0u?*5-t  
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模拟结果 ''(fH$pY  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) S2'`|uI  
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) Sv~YFS :oy  
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) 'R4>CZ%jV  
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3D仿真与结果比较 y wW-p.  
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3D仿真与结果比较 c&7Do}  
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