[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 hhLEU_U  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 t5G@M&d4Eo  
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建模任务 H.qp~-n  
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模拟&设置：单平台互操作性 w+(bkqz]  
建模技术的单平台互操作性 +FRXTku(  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 ^P >; %  
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 平面波光源 hVo]fD|W  
 微透镜阵列 4<CHwIRHY  
 彩色滤光片(吸收介质) }A;J-7g6  
 通过基底传播 h lD0^8S  
 探测 E#X(0(A)  
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连接建模技术：微透镜 =t\HtAXn[  
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连接建模技术：彩色滤光片 `O ?61YUQH  
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连接建模技术：可编程介质 xhLVLXZ9  
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连接建模技术：自由空间传播 (9$z+Zmm?  
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连接建模技术：堆栈 *J,VvO9  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 J@ZIW%5  
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 微透镜阵列 *f{\ze@5=  
 彩色滤光片(吸收介质) bim}{wMb  
 通过基底传播 /@-!JF#g  
 探测 Q]wM WV  
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元件内场分析器：FMM ;5QdT{$H  
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模拟结果 }xXUCU<  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) o|FjNL  

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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) ;cKN5#7  
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) *9Eep~ 6  
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3D仿真与结果比较 #pDWwnP[rt  
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3D仿真与结果比较 zpi Q;P  
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