[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 \
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O WVa&8O  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 skP2IMa75  
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建模任务 ryp@<}A]!d  
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K"r'w8P  
模拟&设置：单平台互操作性 n/5)}( }K
 
建模技术的单平台互操作性 B?r[|  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 9 &~Rj 9  
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 平面波光源 fu95-)M  
 微透镜阵列 QeVM9br)m  
 彩色滤光片(吸收介质) P=V=\T<4_  
 通过基底传播  D=nuK25  
 探测 RWi~34r  
438+zU  
连接建模技术：微透镜 2*K _RMr~  
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44n  

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yA+:\%y$  
连接建模技术：彩色滤光片 \{G1d"n  
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连接建模技术：可编程介质 b;O|-2AR  
Y&k6Xhuao  

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连接建模技术：自由空间传播 1dF=BR8  
-$4#eG%3  

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Yl+r>+^  
PZRm.vC)k  
连接建模技术：堆栈 YoKY&i6r}  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 Y.qlY3iBp  
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图片:1-231026212S44J.png

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 微透镜阵列 &zr..i4O  
 彩色滤光片(吸收介质) c"3 a
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 通过基底传播 YN ~7nOw  
 探测 Fa$ pr`  
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元件内场分析器：FMM V Z[[zYe  
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模拟结果 0.-2
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2 fX-J  
像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) H/p<lp  
-So&?3,\A@  

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}MDuQP]  
/YWoDHL  
像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) zF'{
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EAcJ>  

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K4i#:7r'b  
Q9N=yz  
像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) uuzDu]Gwu  
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3D仿真与结果比较 Af:4 XSO6  
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3D仿真与结果比较 \eE0Rnaf-  
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