[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 @fK`l@K  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 oD
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建模任务 !^7:Rr_  
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模拟&设置：单平台互操作性 )6j:Mbz  
建模技术的单平台互操作性 9C.cz\E  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 @$*c0. |z  
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 平面波光源
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 微透镜阵列 xH0/R LK3J  
 彩色滤光片(吸收介质) 4{?x(~  
 通过基底传播 %;5hHRA  
 探测 [Ok8l='  
J53;w:O  
连接建模技术：微透镜 hJ<2bgQo  
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J$Q-1fjj  
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连接建模技术：彩色滤光片 =FbfV*K9  
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x\DkS,O  
连接建模技术：可编程介质 ;Ki1nq5c#s  
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连接建模技术：自由空间传播 J]0#M:w&  
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连接建模技术：堆栈 `9+EhP$RS  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。
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 微透镜阵列 WFd2_oAT  
 彩色滤光片(吸收介质) K*9b `%  
 通过基底传播 UjaC( c  
 探测 [}2.CM  
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元件内场分析器：FMM Bkc-iC}F
 
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模拟结果 ry ?2 o!  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) AG7}$O.  
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) Q*.FUV&;  
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) -y?Z}5-rs  
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3D仿真与结果比较 ^-u HdafP  
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3D仿真与结果比较 RRqMwy>%  
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