[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 p=V1M-  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 wq|7sk{  
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建模任务 =y>CO:^G%  
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模拟&设置：单平台互操作性 n5#QQk2  
建模技术的单平台互操作性 3a&HW JBSx  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 c D.;  
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 平面波光源 j'OXT<n*  
 微透镜阵列 QX42^]({;c  
 彩色滤光片(吸收介质) w}s5=>QG%  
 通过基底传播 e jR_3K^  
 探测 WM%w_,Z  
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连接建模技术：微透镜 7jHrLsB  
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连接建模技术：彩色滤光片 FAdTp.   
F'"-aB ~  

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连接建模技术：可编程介质 i3pOGa<  
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连接建模技术：自由空间传播 ?B@3A)
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连接建模技术：堆栈 Sy]W4%  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 "a(e2H2&T4  
(XlvPcTi  

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 微透镜阵列 ';}:*nZ//_  
 彩色滤光片(吸收介质) vE1:;%Q  
 通过基底传播 B.KK@  
 探测 Spu;  
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元件内场分析器：FMM #DARZhU)  
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模拟结果 }@/Ox  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) \Ui8gDJ8y5  
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) -ik=P]?  
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Dx=RLiU9  
像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) y+
=s/c  
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3D仿真与结果比较 m-a':  
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3D仿真与结果比较 8G2QI4  
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