[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 kpreTeA]  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 G mUs U{  
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建模任务 Y l3[~S  
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模拟&设置：单平台互操作性 {Ljl4Sp&  
建模技术的单平台互操作性 4Z p5o`*g2  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 8\V>6^3CD$  
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 平面波光源 Cy> +j{%!  
 微透镜阵列 9n\#s~,  
 彩色滤光片(吸收介质) w7?9e#>Z  
 通过基底传播 .VEfd4+ni{  
 探测 y^|3]G3  
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连接建模技术：微透镜 o[r6sz:  

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连接建模技术：彩色滤光片 ao5yW;^y  
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连接建模技术：可编程介质 \bl,_{z?  
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连接建模技术：自由空间传播 M~Dc5\T  
? /X6x1PN  
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连接建模技术：堆栈 >#n-4NZ;p9  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 N$\5%  
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 微透镜阵列 G.ARu-2's  
 彩色滤光片(吸收介质) lc(iy:
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 通过基底传播 "8TMAF|i4  
 探测 ly5L-=Xb  
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元件内场分析器：FMM *G|]5  
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模拟结果 zvC,([  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) PH&ms  
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) cU[pneY  
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) RA67w&  
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3D仿真与结果比较 N|L5Ru
  
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3D仿真与结果比较 &g>+tkC  
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