[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 HEB/\  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 ICl_ eb  
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建模任务 > 0Twr  
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模拟&设置：单平台互操作性 3$$5Mk(&  
建模技术的单平台互操作性 3r-VxP 5n  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 Cwsoz  
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 平面波光源 Z(LxB$^l[  
 微透镜阵列 %uz|NRB=  
 彩色滤光片(吸收介质) uhTKCR~  
 通过基底传播 yxG:\y b  
 探测 ;-9zMbte:  
B%eDBu ")  
连接建模技术：微透镜 ^x_ >r6  
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连接建模技术：彩色滤光片 4/HY[FT  
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连接建模技术：可编程介质 \'; t*  
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连接建模技术：自由空间传播 .K
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连接建模技术：堆栈 Y)Znb;`?a  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 ~A[YnJYA#  
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 微透镜阵列 /'&.aGW4%  
 彩色滤光片(吸收介质) ";)r*UgR{B  
 通过基底传播 %;pD8WgJA  
 探测 ilDJwZg#  
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元件内场分析器：FMM }.fL$,7a  
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模拟结果 }yx=(+jP  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) ]PR|d\O  
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YH<$ +U  
像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) Jj=yG"$!  
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) W$z#ssr  
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3D仿真与结果比较 ,3VG.u;U   
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3D仿真与结果比较 a<f;\$h]  
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