[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 ?z36mj"`o  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 #]hkQo  
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建模任务 \:^n-D*fX  
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模拟&设置：单平台互操作性 }U1{&4Ph  
建模技术的单平台互操作性 V0&QEul  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 xqZ%c/I3q  
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P+l^Ep8P  
 平面波光源 g5'bUYsa  
 微透镜阵列 I>zn$d*0  
 彩色滤光片(吸收介质) , |B\[0p  
 通过基底传播 7im;b15j`'  
 探测 c>k6i?u:X7  
wBGxJ\+M  
连接建模技术：微透镜 :G)x+0u  
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图片:1-23102621225O05.png

ps J 1J  
mw%_yDZ{  
连接建模技术：彩色滤光片 $5[RR  
o8"xoXK5xf  

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o%7yhCY  
连接建模技术：可编程介质 $*ZHk0 7x  
Hn.UJ4V  

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EeJ]> 1  
连接建模技术：自由空间传播 [V~bo/n  
jz0\F,s  

图片:1-231026212P4M8.png

Z2 4 m  
2 {0
VyLx  
连接建模技术：堆栈 N<%,3W_-_  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 64@s|m*  
8&bj7w,K  

图片:1-231026212S44J.png

zq&lxySa  
~E~J*R Ze  
 微透镜阵列 `Ea3z~<7M  
 彩色滤光片(吸收介质) /zKuVaC  
 通过基底传播 4YC`dpO'  
 探测 lB-7.  
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元件内场分析器：FMM 5**xU+&  
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模拟结果 &[uGfm+@  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) "]<Ut{Xb  
<Coh &g_  

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<G={Vfr  
3h&s=e!  
像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) p5\b&~ g  
x8[8z^BV?e  

图片:1-2310262131263Q.png

U\N`[k.F  

%Vq@WF  
像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) 9Z=Bs)-y.  
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3D仿真与结果比较 <_5z^@N3$  
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3D仿真与结果比较 +Fk.B@KT,  
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