[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 |Z"hq  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 h2tzv~  
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建模任务 SD697L9  
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模拟&设置：单平台互操作性 }k,Si9O  
建模技术的单平台互操作性 I]$kVa1iN  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 K+GjJ8  
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 平面波光源 @r .K>+1  
 微透镜阵列 .II'W3Fr  
 彩色滤光片(吸收介质) "fmJ;W;#1  
 通过基底传播 E*'O))  
 探测 BS{">lPmx  
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连接建模技术：微透镜 \K)q$E<!  
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连接建模技术：彩色滤光片 '~a!~F~>  
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连接建模技术：可编程介质 8m6L\Z&  
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连接建模技术：自由空间传播 3*'!,gK~[  
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连接建模技术：堆栈 dFS+O;zE\  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 K3@UoR  
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 微透镜阵列 \dCdyl6V  
 彩色滤光片(吸收介质) )>?K:y8I~  
 通过基底传播 x2nNkd0h  
 探测 z?K+LTf8  
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元件内场分析器：FMM M9iu#6P  
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模拟结果 :|d3BuY  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) S3n$  
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) rK`*v*  
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) `4$" mO>+  
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3D仿真与结果比较 0/),ylCj  
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3D仿真与结果比较 8_:jPd!3  
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