[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 M[C9P.O%w  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 ':}  
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建模任务 WB:NV=&^  
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模拟&设置：单平台互操作性 6@"lIKeP  
建模技术的单平台互操作性 *gq~~(jH  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。
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 平面波光源 <"93  
 微透镜阵列 f.Uvf^T}2  
 彩色滤光片(吸收介质) !rK,_wH  
 通过基底传播 G(g.~|=EZ  
 探测 7Vn;LW  
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连接建模技术：微透镜 q_h=O1W  
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连接建模技术：彩色滤光片 d]89DdZk  
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连接建模技术：可编程介质 R-L*N$@!  
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连接建模技术：自由空间传播 :`pgdn  
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连接建模技术：堆栈 $CgJ+ua\8  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 $Ur-Q d  
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 微透镜阵列 h#Z5vH  
 彩色滤光片(吸收介质) q ,C)AZ  
 通过基底传播 1x"S^j   
 探测 *0*1.>Vg  
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元件内场分析器：FMM o 0-3[W'x<  
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模拟结果 Hn-k*Y/P  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) 9XH}/FcP_O  
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) &fyT}MA  
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) q=_&izmE'7  
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3D仿真与结果比较 Ah_Ttj  
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3D仿真与结果比较 wva| TZ  
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