[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 u"m(a:jQ  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 D6l.x]K  
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建模任务 F?05+  
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XZM@Rys  
KX7fgC  
模拟&设置：单平台互操作性 Z<^!N)  
建模技术的单平台互操作性 v3FdlE  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 OXbShA&1  
M?L$xE_&  

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 平面波光源 W]7/
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 微透镜阵列 lw[c+F7  
 彩色滤光片(吸收介质) 0Ci/-3HV!  
 通过基底传播 >:> W=  
 探测 GGr82)E  
e0(aRN{W  
连接建模技术：微透镜 +egwZ$5I  
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图片:1-23102621225O05.png

V+y"L>K  

k4dC  
连接建模技术：彩色滤光片 z\A ),;  
\`xlD&F@U  

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f$:SacF  
连接建模技术：可编程介质 A;RV~!xx  
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L 1!V'Hm{  
连接建模技术：自由空间传播 {.jW"0U  
0kOwA%m  

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^Y%_{   
$P?^GB>u  
连接建模技术：堆栈 _`&l46  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 $Oy&POe  
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图片:1-231026212S44J.png

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 微透镜阵列 ""a$[[ %WC  
 彩色滤光片(吸收介质) Yg3nT:K_Y&  
 通过基底传播 #0[^jJ3J  
 探测 j;Z?q%M{6  
qJrKt=CE  
元件内场分析器：FMM 9g5h~Ma  
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模拟结果 &k%>u[Bo  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) !=,Y=5M,  
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) 8Ejb
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) qz>R"pj0g  
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3D仿真与结果比较 }\?9Prsd  
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3D仿真与结果比较 K8&;B)VT>  
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