[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 +f,I$&d.V  
zKGr(9I  

图片:1-231026211SA52.png

(, $Lp0mB7  
|T{ZDJ+  
近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 ;0}C2Cz'  
Ox6^=D"  
建模任务 Z|j\_VKhl  
|UN#utw{^Y  

图片:1-231026211912255.png

1~[GGl  
l#a*w  
模拟&设置：单平台互操作性 *-gmWATC6  
建模技术的单平台互操作性 Y{L|ja%9?  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 =6BI[_0  
d4o_/[  

图片:1-231026212000Y8.png

sNJ?Z"5k1h  
JB HnJm  
 平面波光源 [yVcH3GcjI  
 微透镜阵列 .&/A!3pW  
 彩色滤光片(吸收介质) u HXb=U  
 通过基底传播 Co`:D  
 探测 kv`5"pa7M  
;h#CT#R2  
连接建模技术：微透镜 uR82},r$m  
g$mqAz<  

图片:1-23102621225O05.png

Dm`gzGl  
8TO5j  
连接建模技术：彩色滤光片 y|YhDO  
rm
,h\  

图片:1-231026220251440.png

B9oB5E  

/!-ypIY  
连接建模技术：可编程介质 o Hrx$>W]  
osTin*T.  

图片:1-231026212G1G3.png

{>l`P
{{y  
LsNJ3oy  
连接建模技术：自由空间传播 g'V,K\TG  
!}HT
&N8[r  

图片:1-231026212P4M8.png

<@=w4\5j9  
c1StA  
连接建模技术：堆栈 IF3V5Q  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 XU$\.g p-  
IO?6F@(
 

图片:1-231026212S44J.png

 34~[dY  
ni3A+Y0  
 微透镜阵列 JDBNi+t  
 彩色滤光片(吸收介质) K|.!)L  
 通过基底传播 \fL:Ie  
 探测 5<?/M<i  
IF|%.%I$!U  
元件内场分析器：FMM m`/!7wQs  
!_h<w?)  

图片:1-231026212931494.png

YQ5d!a.  
sg,9{R ^  
模拟结果 k!m9 l1x  
H/O
v8|  
像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) ^os|yRzV*M  
,T7(!)dR  

图片:1-231026213023c5.png

F6)/Iiv  
LzkwgcR  
像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) 3(La)|k  
}L|XZL_Jo#  

图片:1-2310262131263Q.png

_1P8rc"Dx  
1 *$-.  
像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) 0G/_"}@  
q=cH ^`<.  

图片:1-231026213156124.png

+)TOcxF%  
I`EgR?5 `  
3D仿真与结果比较 XJi^
gTN  
6w^Fee`>]  

图片:1-231026213221N4.png

aD8r:S\  
Fv9n>%W&  
3D仿真与结果比较 b `.h+=3  
RDQK_Ef:  

图片:1-231026213249293.png