[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 u2Rmp4]  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 4|Y0$(6o  
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建模任务 yn%w'  
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模拟&设置：单平台互操作性 L(8Q%oX%o  
建模技术的单平台互操作性 @aj"12  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 2;kab^iv'  
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 平面波光源 (tVY /(~#  
 微透镜阵列 ("{AY?{{  
 彩色滤光片(吸收介质) <BO|.(ys  
 通过基底传播 'z!I#Y!Y  
 探测 lGcHfW)Y  
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连接建模技术：微透镜 { !FrI@  
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连接建模技术：彩色滤光片 4!monaB"e  
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连接建模技术：可编程介质 SSH/q/  
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连接建模技术：自由空间传播 &Nec(q<  
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连接建模技术：堆栈 Fa>Y]Y0r  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 ]jy6C'Mp  
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 微透镜阵列 XKR?vr7A2  
 彩色滤光片(吸收介质) \x|(`;{  
 通过基底传播 3J[P(G>Q  
 探测 Z4t9q`}h  
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元件内场分析器：FMM VW'e&v1.  
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模拟结果 @9QHv  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) rZDKVx  
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) F1/f:<}  
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) |7f}icXKur  
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3D仿真与结果比较 x.45!8Zb  
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3D仿真与结果比较 D* Vr)J  
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