[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 &pf"35ll  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 deQ{  
a@Vk(3Rx_  
建模任务 k`#E#1niN  
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Oq$-*N  
模拟&设置：单平台互操作性 VX*+:  
建模技术的单平台互操作性 \K9.]PfbI  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 GSs?!BIC  
ub!lHl  
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ySI}Nm>&=  
 平面波光源 <)pPq+  
 微透镜阵列 :f:&B8  
 彩色滤光片(吸收介质) 7Vk9{x$z  
 通过基底传播 dWi<U4  
 探测 C=CZtjUt  
(-Q~@Q1  
连接建模技术：微透镜 2 FoLJ  
.Tm.M7  
:IU<AG6  
JB%_&gX)v  
连接建模技术：彩色滤光片 w2!:>8o:  
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连接建模技术：可编程介质 RX%)@e/@  
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dGj0;3FI%  
连接建模技术：自由空间传播 +8W5amk.P|  
2D:,(  
w >%^pO~}`  
pacD7'1{  
连接建模技术：堆栈 S>b 3_D  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 n!AW9]  

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 微透镜阵列 4DDBf j  
 彩色滤光片(吸收介质) =L@CZ"  
 通过基底传播 6`iYIXnz  
 探测 8ki3>"!A  
b%*`}B  
元件内场分析器：FMM u,nn\>Y  
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 3s|:7  
模拟结果 OiXO<1'$  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) =-~))!(  
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) SUIJ{!F/  
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(J.Z+s$:2  
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) I^( pZ9  
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3D仿真与结果比较 ?%su?L  
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3D仿真与结果比较 J)yg<*/3  
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