[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 r4~Bn7j2  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 '`Smg3T!~S  
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建模任务 qK4
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模拟&设置：单平台互操作性 o4b!U%  
建模技术的单平台互操作性 O\T  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 _|ucC$*  
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 平面波光源 %3i/PIN  
 微透镜阵列 _gY so]S^B  
 彩色滤光片(吸收介质) &DFe+y~PR  
 通过基底传播 j}chU'if  
 探测 Tv0|e'^  
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连接建模技术：微透镜 -0Q:0wU  
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连接建模技术：彩色滤光片 8kih81tx"U  
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连接建模技术：可编程介质 2;4Of~  
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连接建模技术：自由空间传播 6:B[8otQ  
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连接建模技术：堆栈 0K,*FdA  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 WZRrqrjq  
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 微透镜阵列 r]km1SrS  
 彩色滤光片(吸收介质) !xMyk>%2  
 通过基底传播 !a3cEzs3  
 探测 E/(:\Cm^  
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元件内场分析器：FMM sRo%=7Z  
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模拟结果 _p7c<$;  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) &oYX093di  
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) vN7a)s  
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) "VkraB.i  
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3D仿真与结果比较 %`HAg MgP  
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3D仿真与结果比较 GK
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