[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 " #_NA`$i  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 I Yj\t?,0  
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建模任务 wlmi&kq  

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模拟&设置：单平台互操作性 6t<~. 2'  
建模技术的单平台互操作性 e*:[#LJ]C  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 9c46|  
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 平面波光源 S\MD]>4  
 微透镜阵列 v93+<@Z  
 彩色滤光片(吸收介质) WOzdYeeG  
 通过基底传播 WQ|d;[E  
 探测 ko>SnE|w#  
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连接建模技术：微透镜 JIjqGxR  
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连接建模技术：彩色滤光片 D
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连接建模技术：可编程介质 T<mk98CdE  
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BAx)R6kS;  
连接建模技术：自由空间传播 _bMD|  
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连接建模技术：堆栈 nZ$,Bjb
 
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 `[C8iF*Y"  
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 微透镜阵列 hUxpz:U*  
 彩色滤光片(吸收介质) 3Yp_k  
 通过基底传播 Fx/9T2%=  
 探测 6jO*rseC  
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元件内场分析器：FMM \@:pWe  
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模拟结果 L`V6\Ix(I  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) M+ ^]j  
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) 3`5?Zgp  
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AA^3P?iD  
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) [t: =%&B  
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3D仿真与结果比较 Rqa#;wb!(  
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3D仿真与结果比较 &dbX>u q  
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