摘要 n^|7ycB'
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近几十年来,CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm,甚至更小。通过减小像素尺寸,可以获得更高的空间分辨率。同时,这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中,我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真,以验证微透镜的有效性。 9IacZ
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建模任务 "Gq%^^*
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模拟&设置:单平台互操作性 fCv.$5
建模技术的单平台互操作性 E-?JHJloU
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术,这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 ytfr'sr/
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平面波光源 WxtB:7J
微透镜阵列 C3K")BO!
彩色滤光片(吸收介质) """eU,"
通过基底传播 8Urj;KkD
探测 %6:"tuA
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连接建模技术:微透镜 ^X:g C9
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连接建模技术:彩色滤光片 U{9yfy
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连接建模技术:可编程介质 O[9A} g2~
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连接建模技术:自由空间传播 KU.F4I8}q
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连接建模技术:堆栈 n55s7wzM
在VirtualLab Fusion中,堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中,可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意,整个堆栈使用了相同的建模技术。 [|L~" BB
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微透镜阵列 Ve[&_(fP
彩色滤光片(吸收介质) XhJYs q]]J
通过基底传播 5VE9DTE
探测 7KV0g1GQ
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元件内场分析器:FMM %9T|"\
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模拟结果 a]?o"{{+
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) PW"uPn
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟)
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) tP|ox]
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3D仿真与结果比较 OF 1Qr bj
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3D仿真与结果比较 bA(-7l?
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