[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 aC:Sy^Tf  
)7@f{E#w  

图片:1-231026211SA52.png

,<1*  
%\l,X{X  
近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 GHy#D]Z  
Db=gS=Qm  
建模任务 jO55<s94  
]lUu%<-;  

图片:1-231026211912255.png

:j~5(K"  
8|({ _Z
 
模拟&设置：单平台互操作性 &wN 2l-  
建模技术的单平台互操作性 q3F5\6aN  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 %'e(3;YI  
Y9;Mey*oW  

图片:1-231026212000Y8.png

Q(UGwd1  
(5~C _Y  
 平面波光源 PAHlj,n)  
 微透镜阵列 9$&e~^&B  
 彩色滤光片(吸收介质) j;)g+9`  
 通过基底传播 "NU".q  
 探测 D,\=zX;  
d 4]%Wdvf  
连接建模技术：微透镜 -`OR6jd  
[.X%:H+  

图片:1-23102621225O05.png

$)Yog]}  
]ufW61W6Ci  
连接建模技术：彩色滤光片 PQ}%}S7:  
bZ.N7X PH  

图片:1-231026220251440.png

?Z>.G{Wm@  
au|^V
^m  
连接建模技术：可编程介质 \'Ta8  
4_+P
v6  

图片:1-231026212G1G3.png

[+g@@\X4  
;YDF*~9u  
连接建模技术：自由空间传播 v9U(sEDq  
pFTlhj)1  

图片:1-231026212P4M8.png

7Zt\G-QV  
Z=@)  
连接建模技术：堆栈 hFMst%:y$  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 7[g;|(G0  
SDHc[66'  

图片:1-231026212S44J.png

9T2A)a]0  
xn@0pL3B~  
 微透镜阵列 z,FTsR$x  
 彩色滤光片(吸收介质) vQ"s  
 通过基底传播 .vS6_  
 探测 ]TgP!M&q  
O[)]dD&'  
元件内场分析器：FMM ttaQlEa=Z  
kLt9;<L  

图片:1-231026212931494.png

ShJK&70O  
[!@oRK
=~  
模拟结果 qQOD  
,6;xr'[o*  
像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) ceZ8}Sh  
Pzp+I}  

图片:1-231026213023c5.png

t-i6FS-  
HDVl5X`j'  
像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) ie@`S&.8 T  
0^_
lj9B!  

图片:1-2310262131263Q.png

`%M-7n9Y  
IT`=\K/[4  
像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) 'd#\7J>d  
7sc<dM  

图片:1-231026213156124.png

Hp
}  
7B]:3M6d  
3D仿真与结果比较 E0eQ9BXh  
ouVjZF@kS  

图片:1-231026213221N4.png

F|l`YtZZd  
q^1aPz  
3D仿真与结果比较 0[:9 Hb6  
q{cp|#m#G  

图片:1-231026213249293.png