[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 }B-@lbK6)  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 qs$%/  
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建模任务 3Thb0\<"  
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模拟&设置：单平台互操作性 #2N']VP  
建模技术的单平台互操作性 {|Ew]Wq  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 SZGeF;N  
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B.zRDB}i=  
 平面波光源 cmw2EHTT<  
 微透镜阵列 Gz>M Y4+G  
 彩色滤光片(吸收介质) 6\8 lx|w  
 通过基底传播 `RRC8]l  
 探测 942(a  
QG~4<zy  
连接建模技术：微透镜 (%\vp**F  
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I-@A{vvPK  
连接建模技术：彩色滤光片 BvXA9YQ3  
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连接建模技术：可编程介质 Mq!vu!  
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连接建模技术：自由空间传播 ?*2DR:o>@  
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8M{-RlR  
连接建模技术：堆栈 o\n9(ao  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 O'<5PwhG  
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 微透镜阵列 r8o9C  
 彩色滤光片(吸收介质) ?{@UB*  
 通过基底传播 WtT* 1Z  
 探测 RmR-uQU-c  
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元件内场分析器：FMM R)p+#F(s  
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模拟结果 {_ &*"bK  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) !=C74$TH  
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In[!g  

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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) : h"Bf@3  
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q%G"P*g$(  
像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) |)"`v'8>  
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3D仿真与结果比较 b7thu5  
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3D仿真与结果比较 )SX2%&N  
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