[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 4|PNsHXt
 
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 $]H^?  
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建模任务 ?$:;hGO.<~  
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模拟&设置：单平台互操作性 _!m_s5{  
建模技术的单平台互操作性 Ai99:J2k  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 P[|FK(l  
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 平面波光源 }M9R5!=q  
 微透镜阵列 GoVB
1)  
 彩色滤光片(吸收介质) zP[_ccW@  
 通过基底传播 hX?rIx  
 探测 ML6V,-KU  
eh@6trzp=  
连接建模技术：微透镜 v7;zce/~  
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%j '_I\  
连接建模技术：彩色滤光片 co <ATx  
HLjXH#ry  

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je9eJUKE  
连接建模技术：可编程介质 F4=+xd >0  
K2=`.  

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连接建模技术：自由空间传播 OK=lp4X  
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.I6:iB  
连接建模技术：堆栈 $]&0`F  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 )p,uZ`~
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图片:1-231026212S44J.png

H|E{n/g  

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 微透镜阵列 /zB;1%m-  
 彩色滤光片(吸收介质) pHW Qk z(  
 通过基底传播 Q}a, f75  
 探测 aD2+9?m  
)X8?m <cG  
元件内场分析器：FMM Rnl 4  
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WYHr'xJ  
模拟结果 lq4vX^S  
{l/]+8G^  
像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) eSV_.uvsb  
$On  

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-c^/k_n  
{nyQ]Nu"  
像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) R@h@@lSf  
<"SDU_<xG  

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el:  
MNy)= d&<P  
像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) f87>ul!*  
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3D仿真与结果比较 hq5=>p  

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3D仿真与结果比较 R~jV  
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