[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 ;%Jw9G\h  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 #;Y JR9VN  
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建模任务 tt`j!!  
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模拟&设置：单平台互操作性 \
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建模技术的单平台互操作性 )eNR4nF  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 3~\mP\/4v  
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 平面波光源 N.C<Mo  
 微透镜阵列 ;}{%|UAsx  
 彩色滤光片(吸收介质) |eIN<RY5  
 通过基底传播 (b Q1,y  
 探测 %^m6Q!
  
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连接建模技术：微透镜 <k'=_mC_  
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连接建模技术：彩色滤光片 imAsE;:  
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连接建模技术：可编程介质 GFOd9=[  
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连接建模技术：自由空间传播 (Bd8@}\u_  
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连接建模技术：堆栈 FyX
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在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 ["4h%{.  
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 微透镜阵列 Rz1&(_Ps  
 彩色滤光片(吸收介质) d0~F|j\#  
 通过基底传播 W[[3'JTF  
 探测 sPn[FuT>+s  
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元件内场分析器：FMM "qUUH4mR
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模拟结果 -`gqA%#+  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) Juj"cj
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) 5G cdz  
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) &U ]L@]x  
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3D仿真与结果比较 3JM0 m (  
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3D仿真与结果比较 %719h>$  
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