[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 Jmy)J!ib*  
Si[eAAd' :  

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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 jqqaw  
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建模任务 yI *M[0  
@|]iSD&T #  

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S#hu2\9D,  
B,:23[v  
模拟&设置：单平台互操作性 _we3jzMW  
建模技术的单平台互操作性 _32/WQF6  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 "1CGO@AXS  
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L:Ed-=|Uw  
 平面波光源 ew/KZE  
 微透镜阵列 YBeZN98Nt  
 彩色滤光片(吸收介质) Hq79/wKj  
 通过基底传播 (T4k~T`3  
 探测 a\Tr!Be,  
DZF[dxH  
连接建模技术：微透镜 wo$|~ Hr  
9PWm@ Nlf  

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vr<)Ay  
i{4'cdr?  
连接建模技术：彩色滤光片 d7\k gh  
US"2O!u  

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}=JL<Q  
连接建模技术：可编程介质 4h(jw  
TR+Q4Y:  

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4$qNcMdz  
连接建模技术：自由空间传播 JIB?dIN 1  
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j#4+-  
<tGI]@Nwk  
连接建模技术：堆栈 p`pg5R  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 J,.j_ii`!  
i=x.tsJ:hB  

图片:1-231026212S44J.png

Dg1kbO=2  
i#Ne'q;T  
 微透镜阵列 ]L[JS^#7  
 彩色滤光片(吸收介质) fpI;`s  
 通过基底传播 Ax :3}  
 探测 5~v(AB(x  
rDK;6H:u{  
元件内场分析器：FMM Ompi~  
m*Q[lr=  

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0EcC  
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模拟结果 "``W6W-(  
!5yRWMO9X~  
像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) dcV,_  
'Wo?%n  

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\9[NH/.Z{  
j;$6F/g  
像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) l{M;PaJ`}  
2V#c[%vI  

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u^j8 XOT  
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dD  
像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) OL,/-;z6  
m~Kch~~]  

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3D仿真与结果比较 jh<TdvF2$  
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3D仿真与结果比较 lGD%R'}  
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