[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 Yj*T'<e  
Maq`Or|4  

图片:1-231026211SA52.png

IW&*3I<K  
(,jsZ!sl  
近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 Du65>O  
24k]X`/n  
建模任务 A%?c1`ZxF  
U;4i&=.!  

图片:1-231026211912255.png

uR{)%udu  
}$ySZa9  
模拟&设置：单平台互操作性 +])
<}S!M  
建模技术的单平台互操作性 CHZ/@gc  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 ~tyqvHC  
wpt$bqs|1  

图片:1-231026212000Y8.png

:9ia|lN  
R9 Ab.t  
 平面波光源 gd]S;<Jh  
 微透镜阵列 yo->mD  
 彩色滤光片(吸收介质) R]e&JoY  
 通过基底传播 egSs=\  
 探测 R!QR@*N  
G+Z ,ic  
连接建模技术：微透镜 G4*&9Wo  
8s2y!pn7Q  

图片:1-23102621225O05.png

[?|yQ x  
r7g@(K  
连接建模技术：彩色滤光片 :wXiz`VH  
!j`<iPI7B  

图片:1-231026220251440.png

#n{4f1TZ  
> ^zNKgSQ  
连接建模技术：可编程介质 fdX|t"oz  
d^nO&it  

图片:1-231026212G1G3.png

Hzm_o>
^KC  
)Sb-e(sl  
连接建模技术：自由空间传播 Z!~_#_Ugl  
w(aj'i  

图片:1-231026212P4M8.png

{l!{b1KJ  
%L-qAI&V  
连接建模技术：堆栈 {*F =&D  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 TP {\V>*Yz  
K$,<<hl  

图片:1-231026212S44J.png

aaCRZKr  
#}B1W&\sw  
 微透镜阵列 Um\HX6  
 彩色滤光片(吸收介质) BKtb@o~(  
 通过基底传播 U)Hc7% e  
 探测 Vm\zLWNB  
ZCj1Cz]"l<  
元件内场分析器：FMM d]E={}qo&  
 B>:U  

图片:1-231026212931494.png

Q"~%T@e  
au+Jz_$)  
模拟结果 XXn3K BIf  
>I5Wf/$  
像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) tmq?h%O>  
$%\6"P/64  

图片:1-231026213023c5.png

(|Gwg\r  
u9KT_` )  
像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) iYvzZ7 8f  
,M?8s2?  

图片:1-2310262131263Q.png

-O?HfQ  
Qx,#Hj  
像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) |[iO./zP  
aY?VP?BL  

图片:1-231026213156124.png

Miw=2F  
I50LysM  
3D仿真与结果比较 sV2D:%\K:  
LKcp.i  

图片:1-231026213221N4.png

BWxJ1ENM  
![ce }  
3D仿真与结果比较 _[z)%`kay  
Xwo+iZ(a  

图片:1-231026213249293.png