[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 B'vIL'  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 37tJ6R6[  
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建模任务 Gw6!cp|/  
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模拟&设置：单平台互操作性 rT4qx2u  
建模技术的单平台互操作性 Lke!VS!P&  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 bG.`>   
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 平面波光源 ?g*.
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 微透镜阵列 wYv++< z  
 彩色滤光片(吸收介质) -B7X;{  
 通过基底传播 s!F8<:FRJD  
 探测 0Uk;&a0s  
E(*CEW.V*  
连接建模技术：微透镜 Nh4&3"g|  
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连接建模技术：彩色滤光片 {p(6bsn_#]  
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连接建模技术：可编程介质 4a.8n!sys  
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连接建模技术：自由空间传播 3 }#rg  
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连接建模技术：堆栈 ;_=dB[M  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 7$"5qJ{s  
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 微透镜阵列 R!x /,
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 彩色滤光片(吸收介质) a5`9mR)Y$'  
 通过基底传播 ZRa~miKyM  
 探测
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元件内场分析器：FMM k/Ao?R=@gI  
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模拟结果 2P|j<~JS  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) ECuNkmUI  
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) "haJwV6-  
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) ;,@Fz  
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3D仿真与结果比较 >H]|R }h  
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3D仿真与结果比较 9_%??@^>  
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