[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 $elrX-(vL  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 S_bay8L1  
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建模任务 kl
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模拟&设置：单平台互操作性 Q`vyDoF  
建模技术的单平台互操作性 r`;C9#jZ  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 A^K,[8VX  
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 平面波光源 v,D_^?]@  
 微透镜阵列 Y43#];  
 彩色滤光片(吸收介质) m
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 通过基底传播 a^=4'.ok  
 探测 chd${ j  
vj^UF(X  
连接建模技术：微透镜 5z]dA~;*2  
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u^]yz&9V  
连接建模技术：彩色滤光片 D~?kvyJ  
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连接建模技术：可编程介质 i*^K)SI8  
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连接建模技术：自由空间传播 I2W2B3D` c  
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OeAPBhTmFj  
连接建模技术：堆栈 ky~x4_y5  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 w-#0k.T  
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Rke:*(p*n;  
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 微透镜阵列 _bd#C  
 彩色滤光片(吸收介质) Z|/):nVP7  
 通过基底传播
ZGbZu  
 探测 ib&qH_r/  
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元件内场分析器：FMM -of= Lp  
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模拟结果 <=-\so(  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) os.x|R]_  
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) [T%blaSX  
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟)
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3D仿真与结果比较 >YfOR%mS4  
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3D仿真与结果比较 **q/'K  
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