[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 e=J*Esc@k  
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K~@`o-Z[  
近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 -0DZ::  
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建模任务 iNLDl~uU  
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}!B.K^@)  
H:MUNc8i  
模拟&设置：单平台互操作性 eJaUmK:  
建模技术的单平台互操作性 5rN7':(H!%  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 mu>] 9ZW  
a7*COh  

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A^L?_\e6  
 平面波光源 T 9MzUV&  
 微透镜阵列 .hne)K%={y  
 彩色滤光片(吸收介质) -( Kh.h  
 通过基底传播 )Y[/!  
 探测 rkIMM,   
r\RFDj  
连接建模技术：微透镜 U!NI_uk  
;-Ado8  

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?FDJqJM  
W
L/5 oj  
连接建模技术：彩色滤光片 3P`WPph  
ZQ|gt*  

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Z9f/-|r5  
Y{j7Q4{  
连接建模技术：可编程介质 e# <4/FR  
%2YN,a4  

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L6xB`E9  
cqjl5UB  
连接建模技术：自由空间传播 O
$U}d-Xnx  
"u5KbJW  

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5Kee2s?*  
A$ J9U3+O  
连接建模技术：堆栈 ;t~*F#p(!  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 h,~tXj  
XD 5n]AL  

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Z,SY N?@  
Q-3r}jJe  
 微透镜阵列 $)f"K  
 彩色滤光片(吸收介质) 6N?#b66  
 通过基底传播 yIWc\wv  
 探测 C$t.C rxx  
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元件内场分析器：FMM M6&~LI.We=  
n_1jHJo  

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X0!Bs-WFp  
模拟结果 Xout:dn  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) ]~'9  
2+o!o  

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i`R(7Z  
N6WPTUQ1mF  
像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) z>7=k`x`:  
]I8]mUiUH  

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1z3]PA!R  
WX ,p`>n  
像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) 3`xsK[  
[z^Od  

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3D仿真与结果比较 MCM/=M'y  
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3D仿真与结果比较 y2GQN:X  
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