[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 3i}B\ {  
3A}8
?  

图片:1-231026211SA52.png

TC#B^m`'p  
1CVaGD^r{  
近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 NS;8&  
CHw_?#h  
建模任务 ,VsCRp  
BD#;3?|  

图片:1-231026211912255.png

9d}ny
J  
)9Ojvp=#r:  
模拟&设置：单平台互操作性 DkKD~  
建模技术的单平台互操作性 }jgAV  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 )II,HT-LY  
F|Ihq^q  

图片:1-231026212000Y8.png

6e|5qKr  
R0d|j#vP  
 平面波光源 ve^MqW&S  
 微透镜阵列 2U{RA's  
 彩色滤光片(吸收介质) Bcon4  
 通过基底传播 kxwm08/|f  
 探测 i~L7h=__  
to=##&ld<  
连接建模技术：微透镜 +[[gU;U"v  
5c7a\J9>  

图片:1-23102621225O05.png

|YFlJ2w  
0^Cx`xdX:  
连接建模技术：彩色滤光片 }rZ=j6Z  
Z+4Oaf!  

图片:1-231026220251440.png

6D(m8  
v72 dE  
连接建模技术：可编程介质 /U]5#'i  
U.(_n  

图片:1-231026212G1G3.png

}!Lr!eALr  
>GUTno$J  
连接建模技术：自由空间传播 Ft!~w#&-  
 N&.p\T&t  

图片:1-231026212P4M8.png

our5k
 
e5KF~0`  
连接建模技术：堆栈 o]U==  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 a$:N9&P  
_0E,@[  

图片:1-231026212S44J.png

$7YLU{0  
7^=jv~>wP  
 微透镜阵列 M-|2W~YU  
 彩色滤光片(吸收介质) 1Tr=*b %f  
 通过基底传播 'WCTjTob/  
 探测 c= uORt>  
vq:j?7  
元件内场分析器：FMM j(JI$  
C\D4C]/8  

图片:1-231026212931494.png

h zE)>f  
< *OF  
模拟结果 h%S#+t(Bf  
2Wtfx" .y  
像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) -<=<T@,  
k<H&4Z)d9  

图片:1-231026213023c5.png

(tN$G:+")F  
@oNrR$7  
像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) 1| DI'e[X  
DmsloPB?_  

图片:1-2310262131263Q.png

WcFZRy-erc  
S:s^si2/  
像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) o9>X"5CmX  
OQvJdjST  

图片:1-231026213156124.png

etVE8N'  
owhht98y(  
3D仿真与结果比较 H l@rS  
M(f'qFY=K  

图片:1-231026213221N4.png

nE84W$\  
GkFNLM5'  
3D仿真与结果比较 B#yyO>0k]  
PV2904  

图片:1-231026213249293.png