[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 Yyd]s\W  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 (+0(A777M  
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建模任务 H+-x.l`  
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<RpTk*Yo^=  
模拟&设置：单平台互操作性 i(.V`G=  
建模技术的单平台互操作性 MM*~X"A  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 W}"tf L8  
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 平面波光源 if*~cPnN  
 微透镜阵列 DU)q]'[u  
 彩色滤光片(吸收介质) ),y`Iw  
 通过基底传播 6Vncr}  
 探测 zUDXkG*Lv  
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连接建模技术：微透镜 r}sO},i  
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连接建模技术：彩色滤光片 dtTfV.y4w  
LAM{ ,?~  

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N 3O!8A_  
连接建模技术：可编程介质 It/hXND`  
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连接建模技术：自由空间传播 !.MbPPNp  
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+-SO}P  
连接建模技术：堆栈 ;($xAAR  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 PhV/WjCZ  
S.`hl/  

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 微透镜阵列 ]dl.~;3~~  
 彩色滤光片(吸收介质) O"kb*//  
 通过基底传播 1zG6^U  
 探测 *93=}1gN  
w-$iKtb.  
元件内场分析器：FMM >?)_, KL  
P*>?/I`G  

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i `p1e5$  
BB9eQ: xO  
模拟结果  )*6  
g:xg ~H2  
像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) 5-k gGO
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2M\7j  

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Anpp`>}N  
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) |+JO]J#bc  
J7oj@Or9  

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5D?{dA:Rq  
]Ol w6W?%  
像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) +t1+1Zv  
,'t&L]  

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3D仿真与结果比较 J#4pA{01w  
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3D仿真与结果比较 R
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