[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 9 [I ro  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 kh,M'XbTo  
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建模任务 _mkI;<d]$T  
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模拟&设置：单平台互操作性 @g=A\2  
建模技术的单平台互操作性 Vd1K{rH#  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 !7^He3  
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F9+d7 Y$  
 平面波光源 Z.mV fy%  
 微透镜阵列 _fyw  
 彩色滤光片(吸收介质) Z?Q2ed*j  
 通过基底传播 u('OHPqq  
 探测 OVh/t#On  
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连接建模技术：微透镜 7kwG_0QO  
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连接建模技术：彩色滤光片 4 ?c1c  
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连接建模技术：可编程介质 OLR1/t`V  
( gFA? aD<  

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GB+d0 S4  
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连接建模技术：自由空间传播 ^+wz
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J-f0  
连接建模技术：堆栈 @}Z/{Z[@  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 E0hp%:  
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图片:1-231026212S44J.png

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 微透镜阵列 9]w0zUOL6  
 彩色滤光片(吸收介质) bOdv]nQ1  
 通过基底传播 Iq=B]oE  
 探测 ;E"mB4/)  
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元件内场分析器：FMM oQXkMKZ  
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模拟结果 *Kkw,qp/  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) A m1W<`  
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QX=;,tr  
像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) )It4al^\  
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) ?KXQ)Y/su  
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3D仿真与结果比较 }x1IFTa!  
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3D仿真与结果比较 ncr-i!Jjk  
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