[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 eHK}U+"\  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 /eDah3%d  
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建模任务 OdgfvHDgW  
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模拟&设置：单平台互操作性 Dn$zwksSs  
建模技术的单平台互操作性 %8`zaa  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 ( f8g}2  
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 平面波光源 #[sC H  
 微透镜阵列 :d/Z&LXD  
 彩色滤光片(吸收介质) 8>j+xbw  
 通过基底传播 <9-tA\`8N  
 探测 S
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连接建模技术：微透镜 /7@@CG6b  
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连接建模技术：彩色滤光片 :*tv`:;p  
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连接建模技术：可编程介质 !f)'+
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连接建模技术：自由空间传播 'Twi @I  
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po=*%Zs*T  
连接建模技术：堆栈 ;}f%bE  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 K!|=)G3.`  
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 微透镜阵列 =eac,]31  
 彩色滤光片(吸收介质) XIBw&mWf  
 通过基底传播 ]*i>KR@G  
 探测 Tj0eW(<!s  
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元件内场分析器：FMM \_x)E]
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模拟结果 t T-]Vj.  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) ]-x#zp;=  
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) DMf^>{[  
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) @Zq,mPaR$  
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3D仿真与结果比较 r4D66tF  
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3D仿真与结果比较 ppV
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