[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 K~**. NF-n  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 FEgM4m.(G<  
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建模任务 SPKGbp&  
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模拟&设置：单平台互操作性 GKdQ  
建模技术的单平台互操作性 cA%70Y:AV  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 "3CQ0  
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 平面波光源 qk~ni8  
 微透镜阵列 B4AV ubMbe  
 彩色滤光片(吸收介质) O o9 ePw7  
 通过基底传播 ;taTdzR_  
 探测 '6i"pJ0%  
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连接建模技术：微透镜 [ L% -lJ  
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连接建模技术：彩色滤光片 BeZr5I"`}  
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连接建模技术：可编程介质 =$3]%b}  
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连接建模技术：自由空间传播 xab1`~%K  
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连接建模技术：堆栈 c!l=09a~a+  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 K#q1/2  
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 微透镜阵列 \zioIfHm  
 彩色滤光片(吸收介质) b^b@W^\hn  
 通过基底传播 #DjSS.iW  
 探测 [5>f{L!<T<  
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元件内场分析器：FMM Vg9nb  
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模拟结果 kj_o I5<'  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) ?HT+| !4p  
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) T:$a x  
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) {&Kck>C'  
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3D仿真与结果比较 bHx09F]  
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3D仿真与结果比较 R5PXX&Q  
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