[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 wNUT0+  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 $TK*w8@:  
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建模任务 <Z.`X7]Uk  
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_jX,1+M  
模拟&设置：单平台互操作性 wa,`BAKJ+F  
建模技术的单平台互操作性 'TYO-'aC  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 s 4rva G@a  
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 平面波光源 GI{EP&C  
 微透镜阵列 1$DcE>  
 彩色滤光片(吸收介质) o`,}b1lh  
 通过基底传播 ~hq\XQX  
 探测 +E9G"Z65iP  
`=;}I@]zj)  
连接建模技术：微透镜 ,62~u'hR5  
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连接建模技术：彩色滤光片 d>#',C#;  
j+'ua=T3  

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%_n%-Qn  
连接建模技术：可编程介质 w!*ZS~v/r  
Zl%)#=kO  

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连接建模技术：自由空间传播 J|jvqt9C  
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连接建模技术：堆栈 DNDzK iMk  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 nGTGX  
8T.bT6  

图片:1-231026212S44J.png

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 微透镜阵列 3 u=\d)eq  
 彩色滤光片(吸收介质) ('%Y3z;  
 通过基底传播 1Cc91  
 探测 +
5-|6  
s hq +  
元件内场分析器：FMM u1kCvi#N  
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模拟结果 TUGD!b{  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) _lT'nFe=Q  
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uDcs2^2l  
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) K)1Lg?j  
39[ylR|\  

图片:1-2310262131263Q.png

MdEds|D  
6o]{< T/'  
像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) 1f"}]MbLR  
ut]&3f''  

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3D仿真与结果比较 J_XkQR[Y  
PxWH)4  

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FKe/xz  
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3D仿真与结果比较 ~rq:I<5  
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