[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 3,5wWT] )  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 Pb;`'<*U  
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建模任务 }"x*xN  
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模拟&设置：单平台互操作性 r97[!y1gt  
建模技术的单平台互操作性 D5b_m|7%  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 F?ebYk1  
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 平面波光源 .rm7S
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 微透镜阵列 {wXN kq  
 彩色滤光片(吸收介质) fEc_r:|\6  
 通过基底传播 \KXEw2S  
 探测 EI.Pk>ZIm  
^ks^9*'|j  
连接建模技术：微透镜 z=_{jjs  
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连接建模技术：彩色滤光片 0
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.6F3;bg R7  
连接建模技术：可编程介质 Ux T[  
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连接建模技术：自由空间传播 5)5bt q)[  
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连接建模技术：堆栈 $ ].k6,%{p  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 yN<fmi};c  
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 微透镜阵列 b]&zDo|8  
 彩色滤光片(吸收介质) {/xs9.8:JX  
 通过基底传播 cu`J2vm3  
 探测 H8]^f=  
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元件内场分析器：FMM .^IhH|U  
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模拟结果 &qP-x98E?  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) wy- C~b'Qd  
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) 6Hbf9,vI  
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) IPR tm!  

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3D仿真与结果比较 km\ld&d]$  
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3D仿真与结果比较 L0mnU)Q}C  
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